판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 HTF #9146382

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 HTF (High Temperature Furnace) 는 최대 850 ° C의 고주파 응용 프로그램을 위해 개발 된 다용도 열 처리 도구로, 광범위한 포스트 금속 화 어닐링, 도펀트 활성화 및 폴리 실리콘 재결정에 적합합니다. 5200 HTF는 일관성 있고 장기적인 열 처리 (thermal processing) 를 촉진하기 위해 설계에 많은 기능을 제공합니다. 독특한 타원 모양의 디자인은 수평 및 수직 온도 필드 분포로 구성되며, 이는 온도 균일 문제를 최소화합니다. 이중 소스, 이중 주파수 유도 가열로 설계되었으며, 낮고 일관된 전력 수준에서 높은 효율성을 제공합니다. 또한, 고출력, 2 단계 수냉식 장비는 공정 온도를 효과적으로 유지하고, 공정 생성 된 입자 오염을 최소화하도록 설계되었습니다. 포괄적인 PLC (programmable logic controller) 시스템은 신뢰할 수 있고 반복 가능한 프로세스 제어를 지원합니다. 온도가 높은 인터 록 (interlock) 회로, 물 흐름 모니터링, 열 이미징 등 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한, PLC 장치는 다수의 처리 레시피를 저장하도록 설계되어 여러 프로세스 (processing recipe) 를 빠르게 수행 할 수 있습니다. 이 기계의 클린 룸 호환 디자인은 퍼지 가스 (purge gas) 가 필요하지 않은 밀봉형 챔버 (chamber) 와 필터 클리닝 개선을위한 CFC 프리 냉장고가있는 이중 복구 도구 (recovery tool) 를 갖추고 있습니다. 또한 오염이없는 환경을 위해 AMAT Ultrapure ™ 청소 자산과도 통합되어 있습니다. 5200 HTF (5200 HTF) 는 연구 개발을위한 이상적인 열 처리 도구이며, 고품질 전자 장치의 대용량, 산업 규모 생산을위한 것입니다. 고급 기능을 통해 뛰어난 온도 균일성 (Excelly Temperity) 및 제어 (Control) 기능을 통해 신뢰할 수 있는 반복 가능한 열 프로세스와 뛰어난 제품 품질을 구현할 수 있습니다.