판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ #9200050

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ 원자로는 마이크로 전자 산업에 사용되는 최첨단 에칭 및 증착 장비입니다. AMAT Centura 5200 DxZ는 고급 에칭 및 증착 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 자동 병렬 판 (Parallel Plate) 원자로입니다. 프로세스 매개 변수를 매우 완벽하게 제어하여 고급 프로세스 제어를 제공합니다. APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ 원자로에는 1100 ° C까지 가열 할 수있는 스테인리스 스틸로 구성된 공정 챔버가 있습니다. 이를 통해 고온 및 저온 처리가 가능합니다. 이 시스템은 또한 프로세스 안정성 및 반복성을 향상시키기 위해 높은 진공 잠금을 제공합니다. Centura 5200 DxZ 원자로는 직경이 최대 8 "인 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 반응성 스퍼터링, 어닐링, 고온 에칭 및 원자층 증착 (ALD) 을 포함한 여러 가지 처리 기술을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ 원자로는 전통적인 증착 및 식각 시스템에 비해 몇 가지 장점을 제공합니다. 통합 공정 제어 장치 (Integrated Process Control Unit) 를 사용하면 기판 온도 및 처리 조건을 정확하게 제어하여 최소 편차로 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 원자로는 높은 처리량 애플리케이션에 빠른 주기 시간을 제공합니다. 또한 원격 모니터링 머신 (Remote Monitoring Machine) 을 통해 실시간 모니터링 및 조정이 가능하며, 엔지니어는 현장 지원 없이 프로세스를 분석 및 조정할 수 있습니다. AMAT Centura 5200 DxZ 원자로는 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 업계의 갈수록 증가하는 요구를 충족하도록 설계되었으며, 고급 에칭 및 증착 어플리케이션에 적합한 선택입니다. 변동 (Variation) 을 최소화하면서 견고하고 안정적인 처리 기능을 제공하여 사용자는 프로세스의 수익률과 처리량을 높일 수 있습니다. 또한 모듈식 구성요소 (Modular Component) 는 업그레이드 기능과 확장성을 지원하므로 필요에 따라 쉽게 구성요소를 추가하거나 업그레이드할 수 있습니다.