판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ #79721

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ는 유전체 및 기타 고급 재료의 증착을 위해 제작 된 PECVD (플라즈마 강화 화학 증발) 원자로입니다. 압력 균형 및 균일성을 최대화하도록 동적으로 최적화 된 대형 조정 가능한 공정 영역 (process zone) 이 특징입니다. 높은 처리량, 낮은 열 예산, 견고한 설계를 갖춘 AMAT Centura 5200 DxZ는 다양한 소재의 증착에 최적의 성능을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ에는 3 구역, 일반화 된 공정 챔버 디자인이 있습니다. 넓은 볼륨을 사용하면 한 번에 최대 9 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 디자인은 최적의 프로세스 조건을 유지하기 위해 반응 부산물을 빠르게 제거하는 고성능 배기 (HPD) 에 의해 지원됩니다. Centura 5200 DxZ에는 보다 균일성을 위해 저온 웨이퍼 가열을위한 옵션도 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ는 다양한 소스에서 반도체 물질을 증착 할 수 있습니다. 여기에는 실리콘 수 소화물, 실란, TEOS 및 클로로실란과 같은 공정 성분이 포함됩니다. 원자로는 또한 전통적인 PVD, 초저온 순도, 저열 예산 기술을 사용하여 프로세스 호환성을 극대화합니다. 또한, 광학 적으로 두꺼운 필름은 증착력을 단단히 통제함으로써 촉진된다. AMAT Centura 5200 DxZ에는 고급 진단 기능도 있습니다. 검출기 어레이 및 전용 TDM (Thrust Deposition Monitor) 모듈은 실시간으로 배치 된 필름을 정확하게 모니터링 할 수 있습니다. 그런 다음 시스템을 조정하여 모든 프로세스 결함을 보완하여 최적의 균일성 (Uniformity), 적합성 (Conformality), 품질 (Quality) 을 보장합니다. 안전 기능도 간과되지 않았습니다. APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ는 밀폐 된 챔버, 안전 패널, 가스 방전 시스템 등 안전한 운영을 보장하기 위해 다양한 보호 메커니즘을 사용합니다. 원자로에는 긴급 차단 스위치 (Emergency Shutoff Switch) 와 유해 반응 부산물로부터 인원과 장비를 보호하기 위해 설계된 자동 엔드포인트 감지 장치 (Endpoint Detection Mechanism) 가 있습니다. 요약하자면 AMAT의 Centura 5200 DxZ는 고성능 PECVD 원자로입니다. 조정 가능한 프로세스 존 (process zone) 을 통해 높은 처리량과 낮은 열 예산 (thermal budget) 기능을 통해 다양한 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 고급 진단 및 안전 (Advanced Diagnostics and Safety) 기능을 통해 장치가 안전하고 안정적으로 작동하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다.