판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS #9122814
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판매
ID: 9122814
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Poly silicon etch system, 8"
(2) Chambers
Position A: DPS Poly R1
Position B: DPS Poly R1
Position F: Orientor
Narrow body load locks
HP Robot
Generator rack
NBLL's
System controller
1997 vintage.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS는 트랜지스터, 칩 및 기타 전자 부품과 같은 반도체 장치를 만들고 조각하기 위해 설계된 대규모 제조 원자로입니다. 원자로는 3 개의 구성 요소, 즉 석영 챔버, 가스 전달 장비 및 공정 제어 시스템으로 구성됩니다. 석영 챔버는 자연적으로 발생하는 실리카 기반 재료 인 석영으로 만들어진 원통형 모양의 챔버입니다. 챔버 (Chamber) 는 제조 과정에서 웨이퍼와 가스를 고정하기 위해 포트 배열로 설계되었습니다. 포트, 가스, 웨이퍼의 배치를 통해 제조업체는 챔버 (Chamber) 에 다양한 제품을 만들 수 있습니다. 오염 을 방지 하기 위하여, "쿼츠 '챔버 를 진공 으로 밀봉 하고 가열 하여 원치 않는 입자 의 존재 를 감소 시킨다. 가스 전달 장치는 AMAT Centura 5200 DPS의 두 번째 구성 요소입니다. 이 기계 는 제조업자 들 이 정밀 한 양 의 "가스 '를 전달 함 으로써" 챔버' 내부 에 서로 다른 반응 을 일으킬 수 있게 해 준다. 가스 전달 도구 (Gas Delivery Tool) 는 자산의 프로세스 제어 소프트웨어에 의해 모니터링되는 가스 흐름 컨트롤러, 밸브 및 파이핑 세트를 사용합니다. 각 "가스 '의 양 을 원자로 에" 펌프' 하는 것 을 정확 하게 측정 함 으로써, "가스 '들 은 발생 하는 반응 의 종류 를 변화 시킬 수 있다. APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS의 최종 구성 요소는 프로세스 제어 모델입니다. 이렇게 하면 전체 제조 프로세스가 처음부터 끝까지 제어됩니다. 가스 흐름, 챔버 온도, 전력 입력 및 챔버 압력을 제어합니다. 또한 저항, 고장 전압, 이동성과 같은 중요한 매개변수도 모니터링합니다. 공정 제어 (Process Control) 장비는 미리 정해진 한계에 도달하면 제조업체에 경고하는 역할도 수행합니다. 센츄라 (Centura) 5200 DPS 원자로는 다양한 반도체 장치를 조작하고 조각 할 수있는 매우 강력한 제작 도구입니다. 원자로 는 석영실, "가스 '배달" 시스템' 및 공정 제어 장치 의 고급 기능 으로, 복잡 한 전자 부품 을 정확 하게 생산 할 수 있다.
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