판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH #9093316

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH는 연구 개발 실험실을 위해 설계된 고급 원자로입니다. 이 강력하고 다목적 인 기계는 다양한 공정 화학 물질을 수행 할 수 있으며, 반도체 처리, 나노 기술 제작 등 R&D 응용 분야에 사용하도록 설계되었습니다. AMAT Centura 5200 DLH에는 고급 수직 및 수평 반응 챔버, 고속 가스 배송을위한 멀티 플렉스 가스 장비 (Multi-Flex Gas Equipment) 및 걱정없는 원격 작동을위한 프로그래밍 가능한 SafeDetect 에어록 시스템과 같은 뛰어난 원자로가 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH 는 다양한 수준의 자동화로 구성할 수 있으며, 따라서 사용자는 특정 요구 사항에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. Centura 5200 DLH의 1 차 반응 챔버의 직경은 250mm이며, 최대 온도는 800 ° C, 최대 압력은 70 bar입니다. 반응 챔버에는 다양한 가스 라인, 샘플 포트, 압력 및 온도 센서, 반응 샘플링 라인, 데이터 획득 시스템, 대량 흐름 컨트롤러 등 다양한 맞춤형 액세서리가 포함됩니다. 반응 챔버는 부식 성 화학 물질도 가능하며, 비활성 퍼지/벤트 기능이 제공됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH에는 또한 8 위치 샘플 전자가 있으며, 이는 반응 챔버에서 분석되기 전에 샘플을 준비 할 수 있습니다. 예제 전자는 원하는 온도에서 최적의 성능을 보장하기 위해 전기적 (electrical) 과 열적 (thermal) 특성이 다른 다양한 특수 설계 플래텐을 포함합니다. AMAT Centura 5200 DLH에는 원격 모니터링 장치 (Remote Monitoring Unit) 도 포함되어 있습니다. 원자로 위치를 측정하는 작업은 기계의 델타 비전 (DeltaVision) 도구에 의해 처리됩니다. 이 도구는 기계의 정확한 위치에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 이를 통해 전체 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH에는 깨끗하고 강력한 무선 주파수를 제공하는 고급 RF 발전기가 있습니다. 이 기능은 단일 (Single) 또는 이중 (Dual-Frequency) 작업을 위해 설정될 수 있으며, 사용자가 반응 매개변수를 완전히 제어할 수 있습니다. 마지막으로, Centura 5200 DLH 는 사용자가 프로세스를 자동화하고 전체 프로세스를 추적할 수 있는 소프트웨어 패키지 (옵션) 를 제공합니다. 이 소프트웨어 패키지에는 사용자 지정 기능이 뛰어난 인터페이스, 강력한 제어 기능, 상세한 분석/보고 툴, 자동 (automated operating sequence) 을 구성하는 데 사용할 수 있습니다. 이를 통해 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH는 연구 개발 응용 분야에 이상적인 원자로가되었습니다.