판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 4.0 #293820596

AMAT Centura 4.0 원자로는 광범위한 재료를 처리하도록 설계된 최첨단 처리량 증착 기계입니다. 이 원자로는 반도체 집적회로, 광전자 부품 (optoelectronic component) 등 복잡한 장치를 빠르고 효율적이며 경제적으로 제조할 수 있도록 설계되었습니다. Centura 4.0 은 완전하게 자동화된 프로세스 제어 장비로 구성되어, 운영자가 Wafer 처리를 지속적으로 모니터링하고 다운타임을 줄일 수 있게 해 줍니다. 챔버 플래깅 기능을 사용하면 노트북이나 원격 위치에서 이더넷 연결 (Ethernet connection) 을 통해 원격으로 설정을 조정할 수 있습니다. 온도 컨트롤러 (Temperature Controller) 는 200 ° C ~ 400 ° C 범위의 온도 조정성을 허용하므로 각 개별 처리 실행에 필요한 결과에 맞게 증착 특성을 조정할 수 있습니다. 기판 표면 온도 (Tm) 를 줄이기 위해 기판 냉각도 가능합니다. 센츄라 4.0 (Centura 4.0) 원자로의로드 락 (load lock) 시스템은 프로세스 사이클 동안 프로세스 챔버를 자동으로 대피시키고 원자로 챔버 내부의 깨끗한 환경을 유지하여 웨이퍼에서 웨이퍼로 일관된 필름 증착을 보장합니다. 가스 흐름 최적화 및 균일 한 가스 분배를 용이하게하기 위해 맞춤형 가스 박스 구성도 제공됩니다. 또한, 원자로는 반사계 (reflectometer) 및 석영 결정 모니터링 (quartz crystal monitor) 과 같은 전체 내부 모니터링 도구를 사용하여 운영자가 프로세스 조건을 실시간으로 모니터링 할 수 있습니다. 원자로에는 생산 과정에서 에피 택시 성장에 대한 전례없는 제어를 제공하는 PGD (polymer grown deposition) 기능이 장착되어 있습니다. 특수 증착 원 (specialized deposition source) 의 작용은 펄스 기판 펄스와 함께 다른 처리 방법으로 달성 할 수없는 필름 특성을 초래한다. Centura 4.0은 또한 증착하는 동안 입자를 지속적으로 모니터링, 감지, 제거하는 내장 입자 제어 장치를 제공합니다. 이 기계는 증착 중 프로세스 안정성을 감지하고 보장 할 수 있습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Centura 4.0 원자로는 생산 비용을 최소화하고 생산 용량을 극대화하기 위해 설계된 차세대 기계입니다. 고급 프로세스 제어 (process control) 와 다양한 증착 프로세스 (deposition process) 기능을 갖춘 이 머신은 높은 처리량 증착 및 디바이스 제작에 이상적인 도구입니다.