판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 4.0 #189613
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판매
ID: 189613
웨이퍼 크기: 12"
Rev 4 HART mainframe only, 12"
Amat centura rev 4 mainframe & gas box
Previously fitted with with dual deep trench chambers
Top source
Chiller upgrade
With 2 load locks
2 load ports
MKS frca 26349 delta flow ratio controller
Main frame only
12" mainframe controller configuration:
A1- industry pack i/o
A2- industry pack i/o
A3- motion vacuum robot
A4- dnet 2-ch. Scanner
A5- dnet 2-ch. Scanner
A6- dnet 2-ch. Scanner
A7- serial
A8- processor
A9- (spare non-cpci slot)
A10- cpci power
B1- dnet i/o (dio. Combo)
B2- (empty)
B3- dnet i/o (dio. Combo)
B4- motion signal conditioner with otf
B5/B6- front end loadlocks
B7/B8- interlocks
B9- interlocks
B10- interlocks (test connector empty)
SMC ex180 sdn1 serial interface
2001 vintage.
AMAT Centura 4.0은 고급 프로세스 개발 및 생산을 위해 개발 된 고급 화학 반응 장비입니다. 클러스터 툴 플랫폼이자 완벽한 시스템 통합 플랫폼 (full system integration platform) 으로, 강력한 기능을 제공합니다. 이 장치는 높은 처리량 플랫폼 (Throughput Platform) 과 확장성 (Scalability) 을 제공하며 새로운 프로세스 개발을 수용하도록 신속하게 맞춤형으로 설계되었습니다. 플랫폼의 핵심에는 듀얼 존 챔버 (Dual-Zone Chamber) 가 있으며, 이는 기판 및 공정 에너지의 균일하고 최적화된 포커싱을위한 이상적인 환경을 제공합니다. 이중 영역 챔버 (dual-zone chamber) 내에서 대기의 정확한 제어는 뛰어난 프로세스 균일성과 반복성을 만들어내며 Centura 4.0에 고유합니다. 프로세스 환경에 대한 뛰어난 제어 기능을 제공하는 Centura 4.0은 또한 여러 프로그래밍 가능 매개변수, 멀티 스테이지 펌핑 기능, APC (Adaptive Processes Control) 등 다양한 고급 기능을 제공하며, 이 모든 것이 기계의 6 시그마 프로세스 최적화 기능에 기여합니다. 기능. 또한 Centura 4.0 은 AMHS (Automated Material Handling Tool) 를 통해 기판 및 자재 로딩 및 처리 작업을 원활하게 수행할 수 있는 다양한 Wet Process 기능을 제공합니다. AMHS 는 프로세스 최적화 실험과 관련된 다운타임 (downtime) 뿐만 아니라 신속한 샘플 로드 및 언로드 (unloading) 를 지원합니다. 또한 Centura 4.0 은 APC (Adaptive Process Control) 모듈과 독자적인 프로세스 복제 체계를 제공하여 프로세스 활용도 및 최적화를 극대화합니다. APC 모듈은 프로세스 결과를 분석하고 프로세스 성능 결과를 최적화하기 위해 in situ 프로세스 매개변수 (in situ process parameters) 를 신속하게 조정할 수 있습니다. 프로세스 복제 모듈은 모듈 재배치 (module relocation), 환경 조건 변경 (changing environmental conditions) 또는 새로운 처리 화학 도입 (introduction of new processing chemistry) 으로 인한 원인이 항상 최적의 프로세스 균일성을 보장하기 위해 적시에 수정되거나 최소화됩니다. 또한 Centura 4.0 은 고급 시각적 피드백 (visual feedback), 실시간 추적 (real-time tracking) 및 규정 자산 (regulation asset) 을 제공하여 모든 프로세스 레시피를 정확하고 일관되게 따를 수 있도록 합니다. 이러한 모든 기능을 결합하여 Centura 4.0 이 탁월한 프로세스 성능 결과를 제공할 수 있습니다. 결론적으로, Centura 4.0은 높은 처리량 플랫폼, 확장성, 신속한 프로세스 튜닝 기능을 제공하는 정교한 화학 반응 모델입니다. 이 제품은 정밀도가 높은 프로세스 제어, 적응형 프로세스 제어, 프로세스 복제 체계, 시각적 피드백을 갖춘 자동화된 재료 처리 장비를 제공합니다. 이러한 모든 기능은 센츄라 4.0 (Centura 4.0) 에 통합되어 고급 프로세스 개발 및 생산을위한 강력하고 신뢰할 수있는 화학 반응 시스템을 만듭니다.
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