판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Carina Mesa #9251127
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ID: 9251127
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2012
Etcher, 12"
EFEM
TM Module
Chamber B
Axiom chamber D
AC Rack
Accessories included
2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 카리나 메사 (Carina Mesa) 원자로는 다양한 표면에 고품질의 박막 증착을 가능하게하도록 설계된 완전 자동화 증착 장비입니다. AMAT Carina Mesa는 CVD 공정의 하이브리드 유형 인 2 구역, 고효율 또는 HIEEP 원자로입니다. 이 "시스템 '은 금속, 산화물, 질화물 을 포함 하여 여러 가지 물질 을 최대 1000C 의 온도 에서 증착 시킬 수 있다. 2 구역 설계 (two-zone design) 는 장치를 종료하지 않고 첫 번째 구역에 새로운 반응물을 도입 할 수 있으므로 효율성을 극대화하는 데 도움이됩니다. APPLIED MATERIALS 카리나 메사 (Carina Mesa) 원자로는 지속적인 방식으로 작동 할 수 있습니다. 즉, 기계가 실행되는 동안 반응물을 적재 및 언로드하여 처리량을 높이고 프로세스 안정성을 높일 수 있습니다. 카리나 메사 (Carina Mesa) 원자로에는 온도 모니터링, 압력 모니터링, 반응성 가스 흐름 제어, 자동 레시피 제어 등 다양한 고급 프로세스 제어가 장착되어 있습니다. RIE/ICP 에칭 및 내부 시트 저항 측정과 같은 고급 프로세스 진단 (Advanced process diagnostics) 도 이 도구에서 사용할 수 있습니다. 이를 통해 프로세스 최적화 및 재현성을 향상시킬 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 카리나 메사 (Carina Mesa) 원자로에는 온도, 압력, 가스 흐름 및 기타 여러 요소를 모니터링하는 기능을 포함한 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 자산에는 긴급 차단 스위치 (Emergency Shutoff Switch) 와 위험 상황에 대비한 신속한 대응을 위한 경고 (Alarm) 가 있습니다. 전반적으로, AMAT 카리나 메사 (Carina Mesa) 는 최첨단 증착 원자로로, 뛰어난 재생성을 가진 정밀한 온도에서 고품질의 박막을 증착 할 수 있습니다. 2 영역 설계 및 자동화 기능은 높은 처리량과 최적의 프로세스 안정성을 보장하는 반면, 고급 프로세스 제어 (process controls) 및 안전 (safety) 기능은 이 모델을 모든 증착 작업에 완벽한 선택으로 만듭니다.
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