판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS BPSG Chamber for Producer SE #293631717

ID: 293631717
빈티지: 2004
MKS Astron EX RPS CLS208 Watlow controller ALN Ceramic heater 1-1/8 C-Seal surface mount gas panel 0195-01042 AC Box 1080-00126 Heater lift driver 0190-13840 Pin lift driver Manometer: 20T / 1000T Pressure switch: 10 Torr MKS 683B-31931 Throttle valve NC 021010-1 ISO Valve Process kit: Top liner Middle liner Bottom liner Pumping ring Lift hoop Gas panel: Gas line / Gas / Size / MFC / Valve 1 / O3 / - / - / - 2 / O3 / - / - / Hamlet 3 / O2 / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 7 / N2 / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 8 / N2 / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 9 / HE / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 10 / N2-Purge / - / - / Hamlet 11 / N2-Purge / - / - / Hamlet 12 / NF3 / 5000 SCCM / UFC-8565 / Hamlet 13 / HE / 5000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 14 / AR / 15000 SCCM / UFC-8565 / Hamlet Liquid 1 / - / - / - / TEPO Liquid 2 / - / - / - / TEOS Liquid 3 / - / - / - / TEPO 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS BPSG Chamber for Producer SE는 반도체 제조 공정에서 Borophosphosilicate Glass (BPSG) 박막 증착을 위해 설계된 고성능 원자로 시스템입니다. 이 챔버는 AMAT 프로듀서 SE 플랫폼 (AMAT Producer SE platform) 의 중요한 구성 요소로, 다양한 박막 증착 응용을위한 반도체 산업에서 다양하고 널리 사용되는 시스템입니다. BPSG 챔버는 화학적 전구체 및 공정 매개변수의 독특한 조합을 사용하여 BPSG 필름을 뛰어난 균일성, 순도 및 필름 품질로 입금합니다. BPSG 필름은 일반적으로 반도체 소자의 절연 층으로 사용되어 장치의 다른 계층 사이에 전기 격리 (electrical isolation) 를 제공하고 후속 처리 단계를 위해 장치 표면을 평면 화 (planarize) 합니다. 챔버에는 가스 유량, 온도, 압력, 플라즈마 매개변수의 정확한 제어 (control of gas flow rate, temperature, pressure, plasma parameters) 를 포함한 고급 공정 제어 기능이 장착되어 있어 증착 과정을 완벽하게 제어하고 원하는 필름 특성을 달성할 수 있습니다. 이 챔버는 또한 생산자 SE 플랫폼 (Producer SE Platform) 과의 높은 자동화 및 통합을 통해 원활한 운영 및 효율적인 프로덕션 워크플로를 제공합니다. APPLIED MATERIALS BPSG Chamber의 주요 장점 중 하나는 필름 밀도가 높고 불순도가 낮으며 복잡한 장치 구조에 대한 단계 범위가 뛰어난 BPSG 필름을 입금하는 기능입니다. 이것은 집적회로, 메모리 장치, 센서 등 까다로운 어플리케이션에서 반도체 장치의 안정성과 성능을 보장하는 데 필수적입니다. 이 챔버 (Chamber) 는 진화하는 프로세스 요구 사항을 손쉽게 유지 관리, 서비스 및 업그레이드할 수 있도록 모듈식 아키텍처로 설계되었습니다. 이 제품은 가스 모니터링 (Gas Monitoring) 및 연동 시스템 (Interlock System) 을 포함한 최첨단 안전 (Safety) 기능을 갖추고 있어 안전한 운영을 보장하고 청소실 환경의 사고 위험을 최소화합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS BPSG Chamber는 또한 에너지 효율적인 구성 요소, 폐기물 최소화 전략, 환경 규정 준수를 고려하여 지속 가능성을 고려하여 설계되었습니다. 이로써 반도체 업계는 환경 면적을 줄이고 친환경 제조 (green manufacturing) 관행을 채택하려는 노력을 다하고 있습니다. 요약하자면, AMAT BPSG Chamber for Producer SE는 반도체 제조에서 BPSG 필름의 증착을위한 고급적이고 신뢰할 수있는 원자로 시스템입니다. 최첨단 기술, 프로세스 제어 기능, 자동화 (automation) 기능을 통해 반도체 제조업체가 디바이스용 고성능 BPSG 필름을 구현하고자 하는 최적의 선택입니다.
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