판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS AxZ Chambers for Endura CL #9313565

AMAT/APPLIED MATERIALS AxZ Chambers for Endura CL은 초박막 증착 및 에칭을 포함한 다양한 증착 프로세스에 이상적인 반응 챔버 장비입니다. 이 시스템은 반도체 제작, MEMS/MOEMS, LED, OLED, 태양 전지 제작 등과 같은 응용 분야를 위해 반도체 기판에서 초박막 제작에 사용하도록 설계되었습니다. AxZ 챔버 장치는 본체와 Endura CL 모듈의 두 가지 구성 요소로 구성됩니다. AxZ 챔버 (AxZ Chamber) 의 본체는 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 제작되었으며 최대 구조적 무결성과 안정적인 작동을 제공하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 (wafer) 의 전체 표면에 균일 한 증착을 제공하기 위해 로컬 증착을 최소화하는 혁신적인 디자인이 특징입니다. Endura CL 모듈은 E-Chamber, 중앙 난방 장치 및 배기 스택으로 구성됩니다. E-Chamber는 뚜껑이 달린 챔버, 공정 가스 입구 및 웨이퍼 리프트 핀으로 구성됩니다. 전가열 장치는 석영 튜브 히터, 적외선 램프, 열전지로 구성되며, 모두 E-Chamber에서 열적으로 분리되어 공정 오염을 방지합니다. 배기 스택은 에칭 또는 증착 과정에서 생성 된 위험 또는 위험 물질을 신속하게 대피하도록 설계되었습니다. Endura CL용 AxZ 챔버는 화학 증기 증착 (CVD), 물리적 증기 증착 (PVD), 전기 화학 증착 (ECD) 및 플라즈마 강화 화학 증착 (PECVD) 과 같은 광범위한 증착 프로세스에 이상적입니다. 이 기계는 직경이 최대 8 인치 인 웨이퍼를 수용 할 수 있으며 실리콘, 티타늄, 알루미늄과 같은 기질을 처리 할 수 있습니다. 또한 운영 중 안전성을 높이기 위해 HCL (High Containment Level) 기능을 제공합니다. 또한 AxZ Chamber for Endura CL은 수동 및 자동 모드 모두에서 작동 할 수 있으므로 생산 라인 제조에 이상적입니다. 요약하자면, AMAT AxZ Chambers for Endura CL은 안정적인 성능과 정확한 웨이퍼 처리를 위해 설계된 매우 다양한 반응 챔버 도구입니다. 강력한 스테인리스 스틸 본체와 기능 향상을 위해 모듈식 엔두라 CL (Endura CL) 모듈이 특징이며, 다양한 웨이퍼 유형을 수용 할 수 있습니다. 또한, 다양한 증착 프로세스와 호환되며 수동 (manual) 모드와 자동 (automatic) 모드 모두에서 작업할 수 있습니다. Endura CL용 AxZ 챔버는 반도체 제작, MEMS/MOEMS 및 기타 관련 응용 프로그램에 이상적입니다.