판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS AMS 2100 #9269434

AMAT/APPLIED MATERIALS AMS 2100은 널리 사용되는 화학 증기 증착 (CVD) 원자로로, 다양한 박막 재료의 증착에 적합합니다. 광범위한 성장 조건에 걸쳐 고성능, 비용 효율적인 증착을 제공합니다. 원자로의 최대 온도는 2000 ° C이며, 최대 5000 W의 멋진 전력 수준이며, 최대 2200 평방 인치의 기질을 처리 할 수 있습니다. 통합 안전 기능이 있으며 수동 또는 프로그램 방식으로 작동 할 수 있습니다. AMAT AMS 2100은 넓은 영역 기판의 전체 표면에 균일 한 증착을 제공하도록 설계되었습니다. 구성에 따라 4 ~ 10 개의 가변 영역이있는 멀티 존 (multi-zone) 난방 플랫폼을 갖추고 있으며 직경 12 인치 또는 최대 2200 평방 인치의 기판을 수용 할 수 있습니다. 빠른 기질 처리를 위해 수직 서셉터 리프트가 제공되며 질소, 아르곤, 실란, 암모니아 및 다른 증착 응용을위한 기타 공정 가스를 공급할 수 있습니다. 원자로는 2 개의 펌프 우수 터보 분자 진공 장비를 사용하며, 확산 펌프를 사용할 때 최대 기본 압력 3x10-7 Torr (3x10-7 Torr) 를 사용하여 뛰어난 공정 제어 및 균일성을 제공합니다. 그것은 존 (zoned) 펌핑 형상과 가스 위상 거주 시간을 최소화하고 가스 사용을 보존하는 독특한 가스 흐름 경로 설계를 특징으로합니다. 원자로에는 온도, 압력, 열 스트레스 및 가스 과압력을위한 고급 온도 컨트롤러 (advanced temperature controller) 및 전용 안전 시스템이 함께 제공됩니다. 응용 재료 AMS 2100은 또한 더 안전한 운영 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 안전성을 보장하기 위해 통합 안전 시스템과 프로그램 된 안전 프로토콜이 함께 제공됩니다. 원자로 제어판은 증가 매개변수 설정, 프로세스 조건 모니터링, 시스템 종료를 비롯한 수동 작업에 사용할 수 있습니다. 또한 프로그램 작동을위한 프로세스 제어 장치 (process control unit) 를 가지고 있으며, 지속적으로 무인 성장을 허용합니다. 다양한 기능 및 옵션이 있으며, 모두 AMS 2100 CVD 원자로 (reactor) 를 다양한 응용 프로그램의 우수한 속성을 가진 영화 증착을위한 다재다능하고 신뢰할 수있는 기계로 만들도록 설계되었습니다.