판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7821 #9390648

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7821은 박막 증착 응용과 함께 사용할 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 이 장비는 통합 프로세스 개발 및 프로세스 제어 시스템 (process control system) 을 기반으로 유전체 및 비 유전체 재료의 박막으로 기판을 코팅하기 위해 설계되었습니다. AMAT AMC 7821 (AMAT AMC 7821) 은 기존의 열 증착 기법과 프로세스 범위가 향상되었습니다. 이 시스템은 정전기 척, 2 개의 RF 소스, 통합 터보 펌프 및 전체 진공 플랜지 패키지로 구성됩니다. 정전기 "척 '은 가공 한" 샘플' 을 제자리 에 넣는 데 사용 되며, 처리 할 영역 과 기판 의 모양 을 정확 히 제어 할 수 있게 해 준다. 2 개의 RF 소스는 증착 공정의 에너지를 생성하고 제어하는 데 사용되며, 프로세스 요구 사항에 따라 사용자정의된 조건을 허용합니다. 통합된 터보 펌프 (turbo-pump) 는 박막 증착 중에 저압 환경을 달성하기 위해 사용되며, 펌프 다운 사이클이 빨라집니다. 또한 FM-7821 에는 다양한 온도, 제어 설정 등 전체 사용자 정의 자동화 패키지가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면, 정확하고 반복 가능한 처리 조건이 가능해지며, 증착 과정에서 발생하는 오류의 위험을 최소화할 수 있습니다. 사용자 정의 자동화 패키지에는 프로세스 가스의 제어 (예: 가스 믹싱, 유속, 챔버 내 가스의 부분 압력) 도 포함됩니다. 반응 챔버는 알루미늄 코팅 (aluminum-coated) 및 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며, 최적화 된 벨 항아리 설계를 사용하여 증착 과정에서 회수 또는 방출 가능성을 줄입니다. 이 설계의 정확성은 프로세스 사이클이 빨라지고, 프로세스의 균일성 (unifority) 과 안정성 (stability) 이 향상되어 고품질의 박막 (thin film) 이 생성됩니다. 응용 자료 AMC 7821은 비용 효율성 및 환경 안전을 향상시키기 위해 설계되었습니다. 공정 에 사용 되는 필요 한 양 의 재료 와 "가스 '를 최소화 하여 비용 을 절감 하고 안전 을 향상 시킨다. 이 장치는 또한 공기 미립자 및 플라즈마 가공과 관련된 다른 잠재적 위험을 모니터링하기위한 다양한 안전 센서 (safety sensor) 를 제공합니다. 요약하면, AMC 7821은 다재다능한 PECVD 원자로로서, 다양한 어플리케이션에 대한 탁월한 정확성과 반복성을 갖춘 효율적이고 안정적인 박막 증착을 제공합니다. 이 기계는 고급 사용자 정의 자동화 (automation) 패키지를 사용하여 정확한 프로세스 제어를 제공하며, 필요한 양의 프로세스 재료를 최소화하여 저렴한 비용과 환경 안전 (Environmental Safety) 을 제공합니다. 고정밀 박막 증착에 이상적인 도구입니다.