판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7821 #9315234

AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7821
ID: 9315234
Epitaxial reactor.
AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7821 Reactor는 고품질 박막 성장을 위해 특별히 설계된 화학 공학 도구입니다. 원자로 (reactor) 는 이중 챔버, 수직 샤프트 디자인과 세라믹 구성 마이크로 패브레이션 챔버를 결합하여 광학 활성 반도체 층의 균일 한 성장을 가능하게한다. AMAT AMC 7821 원자로는 첨단 화학 증기 증착 (CVD) 장비로, 동질성, 저기질 오염, 정밀한 온도 조절 및 낮은 음향 소음과 같은 사용자 고급 기능을 제공합니다. 이 시스템은 1-5 Torr 또는 대기압의 압력 범위에서 작동하여 최대 350 ° C의 온도에 도달합니다. APPLIED MATERIALS AMC 7821 원자로의 이중 챔버 설정은 매우 순수한 환경을 유지하는 데 도움이됩니다. 상공 챔버 (upper chamber) 에는 감수기와 세라믹 마이크로 파브라이션 챔버 (ceramic microfabrication chamber) 가 있으며 하부 챔버에는 배기 및 퇴적 챔버가 들어 있습니다. 가스 흐름은 훌륭한 컨트롤이있는 중앙 매니 폴드로 구성됩니다. 서셉터 (susceptor) 는 흑연 가열 요소를 포함하는 요소이며 수직으로 조절 가능한 샤프트에 장착됩니다. 조정 가능한 샤프트는 서셉터로부터 기판의 거리를 정확하게 제어하는 데 도움이됩니다. 세라믹 소화실은 오염 물질이없는 필름의 효율적인 균일 한 성장을 보장합니다. AMC 7821 Reactor (원자로 7821) 의 유연한 설계를 통해 사용자가 성장하는 재료에 따라 여러 프로세스 가스 채널을 선택할 수 있습니다. 가스는 중앙 장착 인젝터 헤드 (injector head) 를 통해 주입되고 관형 매니 폴드를 통해 반응 챔버에 전달된다. 반응성 가스 제어 (Reactive gas control) 는 또한 정확하고 균일 한 도핑 프로파일을 보장하기 위해 제공되며, 이는 광학 활성 레이어에 이상적인 단위입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7821 Reactor의 배기 및 복구 기계에는 오염 된 물질을 빠르고 쉽게 청소하고 폐기하는 재활용 가능한 강철 컨테이너가 포함되어 있습니다. 재활용 가능한 컨테이너 (recyclable container) 는 또한 광학 재료 분석 및 특성화를위한 영구 불연성 환경에서 샘플의 수집을 용이하게합니다. 전반적으로 AMAT AMC 7821 원자로는 안정적이고 정확한 온도 조절, 높은 균질성, 낮은 음향 소음, 박막 증착의 뛰어난 균일성을 제공하는 선구적이고 다재다능한 원자로입니다. APPLIED MATERIALS AMC 7821 Reactor 구성 요소의 독보적인 품질은 드문 수준의 안정성과 성능을 제공하여 광학 활성 (Optical-Active) 레이어 증착 작업에 이상적인 도구입니다.
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