판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811 #9390647

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7811은 반도체 산업을 위해 특별히 개발 된 고성능 범용 플라즈마 원자로입니다. 에칭, 증착, 청소 등 다양한 프로세스를 수행할 수 있습니다. 7811 은 설치 시간과 비용을 최소화하면서, 정확한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 원자로 (Reactor) 는 고급 개발 실험실과 생산 환경 모두에 적합한 지속적인 웨이퍼 (wafer) 처리를 위한 통합 머신 플랫폼을 제공합니다. 이 제품은 견고하고 유연하게 설계되었으며, 다양한 작업에 맞게 구성할 수 있습니다 (영문). 원자로는 4.6m ^ 3의 활성 챔버 볼륨 (active chamber volume) 을 특징으로하며, 하나의 배치로 많은 웨이퍼나 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한 이중 주파수 RF 전극 설계를 사용하여 최적화 된 에칭 결과를 달성하고 플라즈마 중심 드리프트를 줄입니다. 이것은 챔버를 가로 질러 플라즈마의 균일 한 분포를 만듭니다. 7811 은 또한 초저속 (low-low) 스위칭 기술과 빠른 튜닝 기능을 갖춘 고급 가스 전달 시스템을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 가스와 설정 간에 즉시 전환하고, 처리 유연성을 높일 수 있습니다. 원자로에는 정밀한 프로세스 제어 및 반복성 (repeatability) 이 가능한 고급 자체 교정 시스템도 장착되어 있습니다. 또한이 플라즈마 원자로는 뛰어난 유지 보수 기능을 제공합니다. 최종 사용자에게 액세스 가능한 1 차 가스 박스와 빠른 변화, 높은 흐름 가스 매니 폴드가 특징입니다. 또한 에어 브레이크 (air break) 시스템을 사용하여 장치에서 안전하고 효율적인 서비스를 제공합니다. AMAT AMC 7811 플라즈마 원자로 (plasma reactor) 는 복잡한 R&D 프로세스와 생산 응용 프로그램 모두에 적합한 견고하고 뛰어난 기능의 기계입니다. 최고 품질 (Top Quality) 을 유지하도록 설계되었으며, 요구 사항이 지속적으로 변경되는 경우에도 다양한 설정을 제공합니다.