판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811 #9293632

AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811
ID: 9293632
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1990
Epitaxial reactor, 6" 1990 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7811은 반응성 이온 에칭 (RIE) 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 플라즈마 원자로입니다. 이 제품은 광범위한 산업 공정에 대한 정확성과 정확성을 제공하는 완전 통합형 (Fully Integrated) 장비입니다. 이 원자로의 도움으로 사용자는 가장 쉽고, 빠르고, 가장 효율적인 방식으로 에칭 (etching) 작업을 수행할 수 있습니다. AMAT AMC의 핵심은 강력하고 정확한 rf 전원 공급 장치입니다. 최신 기술로 설계되어 최고의 프로세스 품질 (process quality) 과 균일성 (unifority) 을 보장합니다. 또한 온도, 챔버 압력, 웨이퍼 수준 등의 프로세스 표시기를 캡처하는 포괄적인 데이터 로깅 시스템을 제공합니다. 전원 공급 장치의 고유성에는 다양한 RIE 응용 프로그램에 적합한 가변 주파수 (Variable Frequency) 모드가 포함됩니다. 또한 AMAT AMC 7811 원자로에는 특수 셧다운 기능이 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 응급 상황이 발생하면 운영자가 즉시 에칭 (etching) 프로세스를 중지할 수 있습니다. 또한 타이머 (timer) 가 내장되어 있으며, 미리 정의된 단계 순서에 따라 프로세스 매개변수가 자동으로 변경됩니다. APPLIED MATERIALS AMC-7811 원자로는 에칭 프로세스의 효율성을 보장하도록 설계된 고급 냉각 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, 더 큰 기판을 쉽게 수용 할 수있는 큰 가공 챔버가 있습니다. 챔버는 또한 뛰어난 작동과 제어를 보장하도록 설계되었습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS AMC-7811에는 가스 모니터, 샘플 홀더, 스크러버 시스템 등과 같은 다양한 고급 액세서리도 장착되어 있습니다. 또한 여러 사용자 친화적 인 소프트웨어 패키지 (user-friendly software package) 를 통해 사용자는 보다 효율적인 방식으로 프로세스를 설정, 제어, 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로, AMC 7811은 산업 응용을위한 고급적이고 안정적인 플라즈마 에칭 솔루션입니다. 최고의 정밀도를 위해 설계되었으며, 에칭 프로세스에서 탁월한 성능을 제공합니다. 원자로의 고급 기능은 공정 자동화 (Process Automation) 를 위해 매우 바람직한 시스템이되었습니다.
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