판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7810 #102168

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7810은 산화, 스트리핑 및 에칭 등의 프로세스에 사용되는 산업 원자로입니다. 이 특정 모델은 영구 및 또는 휘발성 포토 esist와 관련된 응용 분야에 이상적입니다. AMAT AMC 7810은 제조 부피 0.3m3의 챔버를 가지고 있으며 최대 400 ° C의 온도를 가질 수 있습니다. 이 챔버는 스테인리스 스틸, KF 부품, 전기 연결 및 6 "CF 플랜지로 구성된 챔버 밀봉 장비를 사용하여 밀봉됩니다. 기계적 또는 전기적 솔루션을 사용하여 제어 압력을 안정화 할 수 있습니다. 원자로에는 가스 흐름 (gas flow) 과 진공 (vacuum) 을 유지하고 제어하는 데 사용되는 일련의 구성 요소가 포함되어 있습니다. "가스 '유동 은" 가스' 원 "시스템 '에 의해 관리 되고 진공 은 확산" 펌프 컨트롤러' 에 의해 관리 된다. 원자로는 일반적으로 PC Programmable Logic Controller 스테이션에 연결할 수있는 CAPC (Computer Automated Process Control) 장치를 통해 제어됩니다. 이 기계는 챔버 작동 매개변수 (예: 온도, 압력, 유속 등) 를 모니터링, 감지 및 복원하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS AMC 7810에는 안전 과압 도구, 배기 밸브, 진공 연동, 압력 표시등 다양한 안전 기능이 제공됩니다. 원자로는 포토 esist 제거를 위해 에칭 프로세스를 정확하고 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. 저소음 볼륨, 프로세스 라인 에칭, 웨이퍼 클리닝을 위한 최적화된 솔루션을 제공합니다. 또한 다양한 프로세스 화학 물질 (process chemistry) 과 함께 사용할 수 있으며, 다양한 에칭 프로세스에 유연성을 제공합니다. 전반적으로, AMC 7810 (AMC 7810) 은 산업 등급 에칭 및 가스 흐름 원자로로, 고온에 도달 할 수 있으며 공정 라인에 쉽게 통합 될 수 있습니다. 그것 은 "에칭 '과정 을 정확 히 제어 하고, 매우 다양 한 공정 화학 물질 을 사용 하여, 주기 시간 을 감소 시키고, 공정 효율성 을 향상 시킨다.