판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7800 RPX #9293631

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7800 RPX 원자로는 고출력 수준의 작동 온도를 지원하는 웨이퍼 제작을위한 업계 최고의 공정 도구입니다. 대형 챔버 시스템 어플리케이션을위한 피어 중 최고 성능의 와트당 원자로입니다. 이 원자로는 AMAT 독점 Enhanced Anneal 기술과 Atomic Layer Deposition을 결합하여 고급 저k 및 다공성 저k 재료의 최고 균일성 및 증착률을 지원하는 다단계 프로세스 흐름을 지원합니다. AMAT AMC 7800 RPX 원자로는 가동 및 유지 보수가 용이한 다용도, 비용 효율적인 도구입니다. 최대 프로세스 속도 (시간당 80 웨이퍼) 의 높은 처리량을 제공하며 사전 조건, 저온 어닐링, 청소, 필름 증가 및 에칭 프로세스를 위해 설계되었습니다. 로드 포트는 직경 300 mm (12 인치) 의 웨이퍼 크기와 최대 4 mm의 웨이퍼 두께를 처리 할 수 있습니다. 사전 혼합 기능을 사용하면 최적의 조건에서 다양한 프로세스 단계를 수행할 수 있습니다. 환경 지속 가능성 기능은 ESP (APPLIED MATERIALS Enhanced Source Purge) 에 의해 구동되며, 이는 입자 오염을 줄이고 보다 친환경 한 도구를 위해 초기에 가스를 방출합니다. 또한 가상 유지 관리 프로그램을 통해 장기적인 안정성과 안정성을 유지함으로써 TCO (소유 비용) 를 절감할 수 있습니다. 통합 액티브 오염 제어 (Active Contamination Control) 시스템은 챔버 청결도를 실시간으로 모니터링하고 자동 질화물 청소를 지원합니다. APPLIED MATERIALS AMC 7800 RPX에는 Smart Sensing Technology (스마트 감지 기술) 및 고급 도량형 기능이 탑재되어 실시간으로 프로세스 분석 및 처리량 향상을 위한 완벽한 고해상도 진단 포트폴리오가 제공됩니다. 폐쇄 루프 온도 제어 (closed-loop temperon control) 는 열 환경을 최적화하고 섬세한 재료에 대해 정확하고 반복 가능한 열 처리를 보장합니다. AMC 7800 RPX 원자로는 예산이 단단하고 설치 공간이 제한된 SMB (중소, 중견, 성장 기업) 반도체 패브에 적합합니다. 높은 처리량, 업계 최고의 프로세스 균일성, 낮은 TCO (총 소유 비용) 와 결합한 탁월한 반복성과 성능으로, 운영 목적에 적합한 선택이 됩니다.