판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT AKT-4300 #293672407

ID: 293672407
PECVD Systems.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-4300은 다양한 산업에서 사용하도록 설계된 고급형 원자로입니다. 광범위한 재료를 처리 할 수있는 다목적 PVD (Multi-Purpose Physical Vapor Deposition) 원자로입니다. AKT AKT-4300 (AKT AKT-4300) 은 제품의 품질을 극대화하는 고급 프로세스 제어 기능을 통해 안정적이고 효율적입니다. AMAT AKT-4300은 깨끗하고 정확한 필름 증착을 위해 스퍼터 형 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 사용하여 구성됩니다. 이 유형의 소스는 미세 구조 손상 (micro-structure damage) 이 최소화 된 양질의 박막 (thin film) 을 생산하기 위해 높은 증착률과 균일 한 전계 분포를 제공하도록 특별히 설계되었습니다. 스퍼터 소스는 성능 및 효율성 향상을 위해 초저손실 출력 단계에 의해 구동됩니다. 그런 다음 출력 단계 (output stage) 는 고도로 고급 마이크로 프로세서 (microprocessor) 에 의해 디지털 방식으로 제어되어 증착 과정의 정확한 제어 및 반복 성을 갖습니다. AKT-4300 챔버는 청소 및 유지 보수를 용이하게하기 위해 전기 광택 스테인리스 스틸로 제작되었습니다. 그것은 2 개의 측면 팔 공압 급지대를 장착하여 재료를 균일하고 반복적으로 챔버에 주사합니다. 또한, 챔버 (Chamber) 에는 효율적인 난방 및 냉각 속도를 보장하기 위해 고성능 진공 장비와 아트 냉각 시스템 (State of Art Cooling System) 이 장착되어 있습니다. APPLIED MATERIALS AKT-4300은 또한 반응성 스퍼터링, 순차 스퍼터링, 공동 스퍼터링 및 이온 보조 증착을 포함한 다양한 필름 증착 기술을 수행 할 수 있습니다. 이것은 반도체, 광전자, 박막 트랜지스터, 박막 태양 전지 제작을 포함한 다양한 응용 분야에 이상적인 원자로입니다. 인력의 안전과 안전을 보장하기 위해 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-4300은 다양한 안전 및 모니터링 기능으로 설계되었습니다. 약실에 압력 민감성 인터 록 (pressure-sensitive interlock) 이 장착되어 플라즈마가 경고없이 분출되는 것을 방지합니다. 고급 진단 도구 (Advanced Diagnostic Tool) 는 챔버 오염 물질을 모니터링하고 위험한 상황에서 시각적 및 가청 경보를 제공합니다. 다른 안전 기능으로는 화재 억제 장치 (Fire Suppression Unit), 비상 종료 기능 및 원자로 상태 및 성능을 모니터링하기위한 내장 감독 머신 (Supervision Machine) 이 있습니다. AKT AKT-4300은 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 및 사용자 친화적 컨트롤을 통해 사용 편이성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 각 응용 프로그램의 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있는 다양한 매개변수 설정 (parameter setting) 을 제공합니다. 이를 통해 AMAT AKT-4300 은 다양한 업종의 연구 개발, 프로토타입, 생산 용도에 이상적인 선택입니다.
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