판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS AKT-55k #9237806

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ID: 9237806
PECVD System Generation: 8.5 Dual single slot loadlock (Loading, cooling, unloading) Transfer chamber (3) Process chamber Master cluster controller Remote support system: RF Generator Pump Abatement Heat exchanger Remote plasma Substrate size: 2200 mm x 2600 mm (3) Susceptor: Temperature<230°C (2) Loadlock: DSSL Vacuum robot: Dual arm (3) RPSC: MKS (3) Abatement EDWARDS Pumps: (7) iH1800 (3) iF30K RF Generator: (3) 13-14MHz (15kW) (4) 40MHz (4kW) (3) Gas panels: NF3, Ar, SiH4, H2, PH3, B2H6 Loader: Manual loader.
AMAT/APPLIED MATERIALS AKT-55k 원자로는 제어 된 원자로 설정에서 다양한 화합물의 합성을 촉진하기 위해 설계된 산업용 반응물 챔버입니다. 그것 은 여러 가지 반응 "콘스탄트 '가 혼합 되어 반응 하여 새로운 화학 화합물 을 형성 하는 밀봉 된 그릇 이며, 최고 1,000" 센티미터' 의 온도 를 유지 할 수 있다. 챔버는 차가운 외벽, 반응 챔버, 활성 부품 등 여러 모듈화 된 구성 요소로 구성됩니다. 차가운 외벽은 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만든 이중 벽 껍질로, 전체 유닛의 비 반응성 인클로저 역할을합니다. 외부 껍질 안에는 반응 과정이 발생하는 반응 챔버 (reaction chamber) 가 있습니다. 챔버는 내화성이며 최대 55 킬로그램 (kg) 의 재료를 수용하도록 설계되었습니다. 원자로의 활성 부분은 가스 처리 장비, 온도 조절 시스템, 압력 제어 장치, 유체 전달 기계로 구성됩니다. 가스 처리 도구 (gas handling tool) 는 천연 가스를 연료 공급원으로 사용하여 필요한 온도를 생성하는 반면, 온도 조절 자산은 온도를 최적화하여 원하는 반응 조건을 충족시킵니다. 마찬가지로, 압력 제어 모델 (pressure control model) 은 원자로 내부의 압력 수준을 관리하며, 유체 전달 장비 (fluid transfer equipment) 는 원자로 내부에 공급되는 재료를 관리합니다. 이 시스템은 또한 인력과 장비의 최적의 성능, 안전성을 보장하기 위해 일련의 안전 (safety) 기능을 갖추고 있습니다. 폭발 방지 불꽃 체포기는 선박 내부에서 폭발이 발생하지 않도록 방지합니다. ··· 압력 완화 "밸브 '는 또한 반응 이 일어날 때 과도 한 압력 을 가라앉히기 위한 장치 에 포함 된다. 비활성 가스 공급 라인 (inert gas supply line) 도 포함되어 반응성 물질이 위험한 반응을 유발하지 않습니다. 원자로는 화학 합성, 야금 또는 화학 공장 운영, 석유 화학 정제, 새로운 재료의 테스트 및 특성 등 다양한 응용 분야에 이상적입니다. 경제적인 가격의 이 디바이스는 효율적이고, 통제된 성능을 제공하며, 다양한 업계 운영에 통합될 수 있습니다.
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