판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS AKT-5500 #293806889

AMAT/APPLIED MATERIALS AKT-5500은 다양한 재료 연구 및 테스트 기능을 제공하도록 설계된 고급 연구 원자로입니다. AMAT AKT-5500은 고급 기능과 다양한 프로세스 기능을 갖춘 300mm 고진공 시스템입니다. 실험실 환경에서 사용하기 위해 개발되었으며 금속, 도자기, 반도체, 폴리머 (polymer) 와 같은 재료의 증착 및 에칭을 포함한 다양한 실험을 수행하는 데 사용됩니다. 또한 광범위한 재료 연구 및 테스트 요구사항에 대한 기판 베이킹 기능뿐만 아니라 이온 이식 (ion implantation) 을 허용합니다. APPLIED MATERIALS 5500 원자로는 전자 빔 (e-beam) 접근 방식을 기반으로하며 전자 총 배열을 사용하여 원하는 패턴으로 캡처하고 조작합니다. 10 ~ 10 TORR 압력의 고진공 환경에서 작동하며 다음을 포함하여 몇 가지 정확하게 제어 된 프로세스 매개 변수가 장착되어 있습니다. * 고출력 e-빔 전류 * 기판 바이어스, 기판 높이, 총 샘플 거리 * 가스 압력, 배경 및 필라멘트 * 대상 온도 * 소스 방출 전압 또한 광범위한 프로세스 형상 및 조건을 지원하므로 다양한 실험에 적합합니다. AKT-5500 원자로의 공정 챔버는 전체적으로 590.0 in x 590.0이며, 6 각형 공정 챔버는 37.4in 내부 직경과 최대 기판 직경은 12.0in입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 5500 원자로는 연구원들이 다양한 고급 재료 공정을 테스트 할 수 있도록 매우 높은 에치 (etch) 또는 증착 속도를 달성 할 수 있습니다. 응용 재료 AKT-5500 원자로는 주로 실험실 규모 실험 및 연구용입니다. 직관적이고 쉽게 학습할 수 있는 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 프로세스 및 하위 시스템 제어를 제공합니다. 또한 통합 SPC, 실시간 현장 모니터링, 레시피 기반 운영 등의 다른 고급 프로세스 제어 기능도 통합합니다. 아마트 (AMAT) 5500 원자로 (reactor) 를 이용하면 여러 계층으로 구성된 실험을 수행하고 광범위한 재료 및 표면 준비 방법을 실험할 수 있습니다. 요약하면, 5500은 광범위한 재료 연구 및 테스트 실험에 적합한 고도로 전문화 된 고급 진공 (high-vacuum) 연구 원자로입니다. 사용하기 쉽고 다양한 프로세스 제어 (Process Control) 기능과 대규모 프로세스 챔버 (Process Chamber) 를 제공하므로 여러 계층으로 구성된 실험이 가능합니다.