판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS AKT-25K #293604834

AMAT / APPLIED MATERIALS AKT-25K
ID: 293604834
System.
AMAT/APPLIED MATERIALS AKT-25K는 반도체 생산 프로세스에 사용하도록 설계된 고급 고성능 수직 플라즈마 반응성 이온 에치 (RIE) 원자로입니다. 이 고급 시스템은 깨끗하고 고품질의 프로세스 균일성과 Critical Dimension (CD) 제어를 제공할 수 있습니다. 생산 수익률 증가 및 에치 속도 균일성 향상에 최적화되었습니다. AMAT AKT-25K는 세라믹, 금속, 산화물 등 다양한 물질을 지원하며 증기 단계 또는 액체 공정에서 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 가속기 제어 및 공정 견고성 (process strustness) 을 통해 빠른 속도와 정확도에 최적화되었습니다. 또한 다른 시스템 및 프로세스와 쉽게 통합할 수 있도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS AKT-25K 의 고속 수직 아키텍처 (High-Speed Vertical Architecture) 를 통해 최대 4 개의 웨이퍼를 병렬로 처리 할 수있는 프로세스 챔버를 통해 높은 처리량 애플리케이션을 지원할 수 있습니다. 수직 레이아웃은 더 짧은 전송 시간을 제공하여 프로세스 균일성을 유지하고 웨이퍼-웨이퍼 (wafer-to-wafer) 충돌로 인한 손상 가능성을 줄입니다. AKT-25K 는 고급 전원 공급 장치 (Advanced Power Source) 에 의해 구동되며, 이는 프로세스 품질 및 전력 효율을 최적화하도록 구성될 수 있으며, 다양한 소재와 광범위한 프로세스를 정확하게 처리할 수 있습니다. 또한 여러 가스 제어 시스템 (gas control system) 이 포함되어 여러 프로세스를 쉽게 제어 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS AKT-25K에는 그라운드 결함, 가스 누출 및 아크 탐지와 같은 다양한 안전 기능이 포함되어 있어 프로세스 손상 방지, 우발적 교차 통신 방지, 간편한 통합, 자동 웨이퍼 언로드 보호 등이 있습니다. 또한 복잡한 프로세스 레시피를 빠르고 쉽게 설정하고 관리할 수 있는 사용자 친화적인 GUI 를 제공합니다. 전반적으로 AMAT AKT-25K는 반도체 생산 응용 분야에 사용하도록 설계된 고급 고성능 원자로입니다. 최적의 전원 공급 장치/가스 제어 시스템, 안전 기능, 사용자 친화적 GUI 등을 통해 강력한 프로세스를 제공합니다. 첨단 수직 아키텍처 (Advanced Vertical Architecture) 를 통해 매우 다양한 재료를 빠르고 정확하게 처리할 수 있으며, 프로세스 처리량 (Process Throughput) 기능을 통해 처리량이 많은 애플리케이션에 적합합니다.
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