판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT 1600A #9196910
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ID: 9196910
웨이퍼 크기: 2"
빈티지: 1999
PECVD System, 2"
Glass size: 370 X 470 mm
TM Chamber
A/B/C/D Chambers
MFC Box
Regulator box
Main frame
Control panel
Index
Monitor table
Pump rack
Dry pump 1 (L/L)
Dry pump 2 (T/M)
Remote frame
Main scrubber
Missing parts:
(4) Chambers pump
Suspector (4) Chambers
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600A는 원자 층 증착 (ALD) 및 플라즈마 강화 화학 증착 (PECVD) 을 위해 설계된 고급 연구 개발 원자로입니다. 이 단일 웨이퍼 원자로 (single-wafer reactor) 는 단지 몇 나노미터 두께의 매우 얇은 필름을 정확하고 통제 할 수 있으므로 장치 제조 및 나노 기술 연구에 이상적입니다. AKT 1600A의 챔버는 직경 200mm이며 50 ° C ~ 800 ° C 범위의 기판과 0.5 ~ 200mTorr의 압력을 처리 할 수 있습니다. 또한 질소, 육불화 황, 아르곤/산소를 포함한 다양한 대기 및 흐름과 호환됩니다. 원자로는 사용하기 쉽고 간단한 교정을 위해 설계되었습니다. 6 개의 샘플 리프트 위치를 가지며, 추가 분석을 위해 측면 프로파일을 수집하는 데 사용할 수도 있습니다. 이러한 기능은 사용자가 증착률과 균일성을 정확하게 제어 할 수 있도록 결합됩니다. AMAT 1600A의 전원은 2.75kW RF 발전기입니다. 다양한 애플리케이션에 매우 효과적인 성능을 제공합니다. 이 생성기는 1kHz ~ 1MHz의 다양한 작동 주파수를 제공합니다. "주파수 (Frequency)", "전원 (Power)", "바이어스 (Bias)" 등의 설정을 조정할 수 있는 고급 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 1600AL은 고급 온도 조절 및 모니터링 기능도 제공하므로 온도를 0.2 ° C 이내로 설정하고 모니터링 할 수 있습니다. 이것은 원하는 결과를 얻기 위해 매우 정확한 온도가 필요한 응용 프로그램에 이상적입니다. 마지막으로, APPLIED MATERIALS 1600A (APPLIED MATERIALS 1600A) 에는 챔버에서 가장 높은 수준의 청결을 유지하기 위해 자동 청소 시스템이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 시간이 지남에 따라 원자로의 성능 수준을 그대로 유지하도록 도와줍니다. 이 모든 기능을 통해 1600A는 오늘날 시장에서 가장 인기 있고 신뢰할 수있는 연구 개발 원자로 (Research and Development Reactor) 중 하나입니다. 원자로는 많은 고급 재료 연구 및 장치 제조 응용 분야에 대한 선택 사항이되었습니다.
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