판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT 1600A #293620423

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600A는 박막 재료의 합성을 위해 설계된 고급 플라즈마 강화 화학 증기 증착 원자로입니다. 원자로에는 연구 개발, 생산, 프로토 타입 (prototyping) 작업에서 박막 증착 프로세스에 이상적인 몇 가지 기능이 장착되어 있습니다. AKT 1600A는 RF 및 마이크로파 전력을 사용하여 플라즈마 가스를 이온화하여 플라즈마 에칭의 균일성을 개선 할 수있는 플라즈마 생성 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 원자로의 RF 전원 및 가스 제어 시스템을 구성하면서, 플라즈마 매개변수를 최적화하는 효율적인 수단을 제공합니다. 원자로는 또한 고성능 냉각 장치 (cooling unit) 를 통해 우수한 온도 조절을 제공하여 공정 온도를 정확하게 조정할 수 있습니다. 원자로 (Reactor) 에는 압력, 온도, RF 전원 수준 등의 작동 매개변수를 빠르고 쉽게 프로그래밍 할 수있는 소프트웨어 기반 컴퓨터가 있습니다. 이 툴은 중요한 매개변수를 실시간으로 모니터링하고, 프로세스 추적 (process tracking) 과 최적화 (optimization) 를 지원하는 데이터 로깅 기능을 제공합니다. AMAT 1600A는 진공 챔버, 저압 플라즈마 소스 및 컨트롤러로 구성됩니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 재료 처리를 위해 비활성 환경을 제공하며, 균일성을 향상시키기 위해 아노디 화 된 티타늄 라이너가 장착되어 있습니다. 저압 "플라즈마 '원 은" 마이크로' 파 "에너지 '를 사용 하여 박막 증착 에 균일 함 을 주는 매우 활기 있는" 플라즈마' 를 생성 한다. 이 컨트롤러를 사용하면 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있으며, 정해진 범위 내에서 작업을 수행하여 효율성 및 결과를 최적화할 수 있습니다. 1600A는 향상된 박막 증착 기능이 필요한 사용자에게 적합한 선택입니다. 이 원자로 는 동력 과 정밀도 의 결합 으로, 여러 가지 재료 와 기판 을 가공 하는 데 이상적 이다. "뉴우요오크 '는 이렇게 말 한다. 더욱이, 다용도 의 설계 와 직관적 인 작업 은 연구자, 개발자, 생산 시설 을 위한 훌륭 한 선택 이 됩니다.