판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT 1600A #293615967

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600A는 혁신적이고 신뢰할 수있는 수직 건식 에치 원자로입니다. 실리콘 (Si), 갈륨 비소 (GaAs) 및 기타 화합물 등을 포함한 다양한 반도체 물질에 대한 플라즈마 에칭, 플라즈마 애싱, 탄소 필름 에칭과 같은 건식 에칭 공정을 수행하는 데 사용됩니다. 원자로는 높은 선택성과 균일성을 가진 높은 종횡비 에칭을 수행하도록 설계되었습니다. AMAT/AKT 1600A는 광범위한 프로세스 범위, 대규모 프로세스 챔버, 고급 동작 제어 및 속도, 뛰어난 패턴화 기능 등 중요한 기능 조합을 제공합니다. 원자로에는 다양한 에치 공정에서 이온 빔을 정확하게 제어 할 수있는 고해상도 비행 시간 (time-of-flight etching) 이 장착되어 있습니다. 고급 디지털 제어 로직 (digital control logic) 과 다중 배기 (multiple exhaust) 구성은 에치 깊이, 에치 속도, 선택성 요구 사항을 포괄하는 광범위한 프로세스를 제공합니다. AMAT 1600A는 탁월한 수준의 프로세스 재생성과 낮은 소유 비용을 제공합니다. 최신 디지털 IGBT (Digital IGBT) 기술을 기반으로 하는 내장 프로그래밍 가능한 컨트롤러는 프로세스 매개변수를 완벽하게 제어합니다. 원자로에는 Z 스테퍼 모터와 로토 케이지 (Rotocage) 가 장착되어 고급 동작 제어를 할 수 있습니다. 온보드 컨트롤러에는 에치 속도, 선택성 및 균일성을 검증하기위한 2 점 테스트 기능이 있습니다. APPLIED MATERIALS/1600A 원자로는 뛰어난 설계 기능, 성능 및 비용 효율성을 제공합니다. 이것은 다양한 반도체 재료의 고정밀 처리를위한 업계 최고의 에치 (etch) 원자로입니다. 탁월한 패턴화, 재현성, 선택성 등으로 인해 반도체 제작에서 작업을 에칭하는 데 이상적인 선택이 됩니다. 첨단 디지털 제어 로직 (digital control logic) 과 다중 배기 구성을 통해 이온 빔 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 간단히 말해서, APPLIED MATERIALS 1600A는 탁월한 etch 성능, 비용 효율성 및 탁월한 프로세스 기능을 제공하도록 설계된 고급 원자로입니다.