판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS A600 #9315959

AMAT/APPLIED MATERIALS A600은 다양한 반도체 제작 공정에 대한 고급 플라즈마 공정 원자로입니다. 공정 신뢰성과 반복성이 높은 고성능 원자로이며, HVM (High-Volume Manufacturing) 환경에 사용됩니다. AMAT A600 (AMAT A600) 은 다양한 계층에 가장 다양한 박막 구조를 만들 수 있으며, 반도체 제작에 이상적인 도구입니다. APPLIED MATERIALS A600은 독특한 챔버 디자인으로, 개방형 쇼어 헤드 디자인과 개방형 프로세스 컨셉을 제공합니다. 이 챔버 설계를 통해 다양한 프로세스 모듈을 손쉽고 효율적으로 설치하고 멀티 소스 PECVD (multi-source PECVD), 하드 베이크 (hard-baked) PECVD 등의 최신 프로세스 모듈과의 호환성을 보장할 수 있습니다. 개방형 쇼어 헤드 디자인은 또한 중앙 (Center) 과 모서리 (Edges) 를 포함하여 전체 웨이퍼에서 필름의 균일성을 보장합니다. A600 공정 원자로에는 고성능 RF 발전기와 최대 60MHz의 주파수가 포함됩니다. 이를 통해 소프트 베이크 (soft-baked) 및 하드 베이크 (hard-baked) 공정의 전원을 정확하게 제어할 수 있으며, 높은 증착률과 높은 종횡비 공정의 높은 단계 범위가 가능합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS A600은 고유한 이중 장비 설계로, 각 시스템은 하나의 RF 소스로 구성되어 있으며, 전체 웨이퍼에서 정확하고 편향되지 않은 프로세스 결과를 보장합니다. 인상적인 장점 목록에 덧붙여, AMAT A600 (AMAT A600) 에는 챔버 압력을 분석 할 수있는 고유 한 유닛 (unit) 기능이 포함되어 있으며, 이를 통해 원자로는 프로세스 일관성을 향상시킬 수 있습니다. 게다가, 이 기능은 외부 누출 (external leakage) 의 초기 발생을 모니터링하는 데 사용될 수 있으며, 이 상황을 조기 감지 및 수정 할 수 있습니다. 결론적으로, APPLIED MATERIALS A600은 다양한 반도체 제작 프로세스에 이상적인 솔루션입니다. 고성능 RF 생성기 (HPD Generator), 개방형 Showerhead 설계 (ShowerHead Design), 신뢰할 수 있는 프로세스 제어 및 압력 분석 시스템 (Pressure Analysis Machine) 등 다양한 고급 기능을 통해 다양한 프로세스에서 반복 가능하고 안정적인 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 따라서 A600은 다양한 반도체 제품을 제조하는 데 적합한 도구입니다.