판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 9240-03211 #293648591

AMAT/APPLIED MATERIALS 9240-03211 원자로는 다양한 반도체 제조 공정, 특히 화학 증기 증착 (CVD) 에 최적의 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 스테인리스 스틸 둘레와 베이스 플레이트, 아크 내성 석영 창문, 세라믹 기판 홀더가있는 온도 조절 진공 챔버가 특징입니다. 챔버의 내부 부피는 약 25 리터이고 진공 범위는 1.0 x 10 ^ -6 Torr입니다. 챔버에는 가스의 흐름을 제어하기 위해 빠른 펌핑 아웃 Turbo-Molecular Vacuum Pump 및 Tecator TM2500 Mass Flow Controller가 장착되어 있습니다. 또한, 챔버에는 자동 오프닝/클로징 기능이있는 2 개의 Load-Lock과 전면 로딩을위한 웨이퍼 바스켓이 있습니다. AMAT 9240-03211은 -12 ° C 및 최대 800 ° C의 온도가 가능합니다. 원자로에는 정확한 온도 제어를 위해 내부 미니 샤워, RF 플라즈마 발전기 및 이중 루프 냉각 시스템도 장착되어 있습니다. APPLIED MATERIALS 9240-03211은 고품질 반도체 장치 구조를 생산하기위한 훌륭한 도구입니다. 금속 실리사이드, 고 유전체 상수 Gate Dielectrics 및 정확한 도핑 패턴을 가진 진공 퇴적 된 금속 층을 생성 할 수 있습니다. 정밀한 온도 조절 및 질화물 증착 (nitride deposition) 기능은 생산 중인 장치의 구조와 구성을 정확하게 제어합니다. 자동 온도 제어 시스템 (Automated Temperature Control System) 은 최대 두께 균일성과 피쳐 해상도를 최적화하도록 설계되었습니다. 또한, 최소 열 스트레스와 함께 빠른 사이클 주파수는 향상된 정밀도를 제공합니다. 9240-03211은 직관적인 제어 시스템을 제공하는 터치스크린 인터페이스로 사용자 친화적입니다. 맞춤형 레시피, 다국어 인터페이스 및 원격 작업 기능이 제공됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 9240-03211에는 Over-Pressure interlock 및 Dry Gas Pressure Switch를 포함한 안전 기능도 있습니다. 또한, 원자로에는 정확한 챔버 판독값을 제공하는 이온화 된 진공 게이지와 오류 감지 및 예방 유지 관리를위한 진단 도구 (Diagnostic Tool) 가 있습니다. 전반적으로, AMAT 9240-03211 원자로는 고품질 및 정밀한 반도체 장치 구조를 생산하기위한 훌륭한 도구입니다. 고급 온도 조절 및 자동화 프로세스는 다양한 CVD 프로세스에 이상적입니다. 사용자 친화적 인 인터페이스, 맞춤형 레시피 (레시피), 다양한 안전 기능을 제공하여 반도체 제조의 정확성과 제어를 강화합니다.