판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 9240-03211 #293635674

AMAT/APPLIED MATERIALS 9240-03211 원자로는 고정밀 어플리케이션을 위해 설계된 고성능 CVD 증착 도구입니다. 이 장비는 미세 구조 및 필름 형태를 제어하면서 매우 강력하고 균일 한 필름을 생산할 수 있습니다. 원자로에는 진공실, 견고한 가스 전달 시스템, 가열 요소가 장착되어 있습니다. 이 요소 조합으로 인해 고압 (high pressure) 과 온도 (temperature) 에서 작동 할 수 있으며, 넓은 지역에 걸쳐 반복 가능한 특성을 가진 균일 한 필름을 제공합니다. AMAT 9240-03211 원자로 챔버는 니켈 코팅 스테인리스 스틸로 만들어졌으며, 플라겐 및 회전 문을 포함합니다. 플래튼 (platen) 은 기판과 표적이 장착 된 챔버의 재진입자입니다. 엔트리 포트 (entry port) 의 회전 도어를 사용하면 증착실 안팎에서 기판을 쉽게 접근 할 수 있습니다. 챔버 내부는 로우 프로파일 (low profile) 구성으로 설계되어 고해상도 균일성과 반복 가능한 결과를 제공합니다. 원자로에는 가스 유량, 믹싱 (mixing), 타이밍 (timing) 을 정확하게 제어하는 가스 전달 장치 (gas delivery unit) 가 장착되어 전체 기판에서 균일 한 필름 강착을 보장합니다. 이 기계는 Edwards E2M18 진공 펌프, 일련의 MFC (Mass Flow Controller) 및 가스를 증착실의 여러 부분으로 라우팅하기위한 밸브가 장착 된 매니 폴드로 구성됩니다. 가스의 흐름과 조성을 조절함으로써, 원자로는 균일성 (unifority) 과 반복성을 가진 고품질 필름을 생산할 수있다. APPLIED MATERIALS 9240-03211 원자로에는 CPU (Central Processing Unit) 에 의해 규제 된 난방 요소가 장착 된 제어 대기 챔버도 포함되어 있습니다. 이 가열 요소는 최대 1000 ° C의 온도를 생성 할 수 있으며 최대 200 Torr의 압력을 가합니다. 난방 요소 (heating element) 에 의해 생성 된 고온 및 고압 환경은 전체 기판에 걸쳐 필름의 균일 한 증착을 촉진합니다. 9240-03211 원자로 (reactor) 는 고품질 필름을 생산하기 위한 신뢰할 수 있는 도구이며, 다양한 고밀도 CVD 어플리케이션에 적합합니다. 온도 및 압력 조절, 정밀한 가스 전달 도구, 견고한 챔버 (gas delivery) 설계 등을 통해, 이 자산은 까다로운 응용 프로그램의 요구를 충족시키기 위해 반복 가능한 결과를 가진 균일 한 필름을 생산할 수 있습니다.