판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8130 #9364855

AMAT/APPLIED MATERIALS 8130은 3D NAND 및 기타 회로 형성 공정을 처리하는 데 사용되는 고급, 고성능, 비용 효율적인 화학 증기 증착 원자로입니다. 수직 방향을 사용하여 AMAT 8130은 직경이 최대 200mm 인 기판에 균일하게 두꺼운 균일 제어 레이어를 배치 할 수 있습니다. 모듈식 공구 불가지론 설계를 통해 APPLIED MATERIALS 8130은 다양한 증착 프로세스에 사용할 수 있습니다. 8130 (8130) 은 빠르고 안정적인 성능을 제공하는 고급 기계식 디자인으로 설계된 단일 웨이퍼 원자로입니다. 기계적 설계를 통해 신속하고 간편한 유지 보수 (maintenance) 와 확장된 프로세스 창을 사용할 수 있습니다. 대형 멀티 존 (multi-zone) 로드/언로드 스테이션은 온도, 흐름 및 압력을 완벽하게 제어하여 균일 한 증착을 제공합니다. 또한, 각각 630 ° CI/250 ° C까지 굽을 수있는 자체 난방 요소를 갖는 4 개의 독립적 인 공정 챔버가 있습니다. 독립적 인 가열 요소는 개선 된 기판 공정 균일성을 가능하게하며, ± 2 ° C의 균일 한 온도를 유지하도록 테스트되었습니다. 또한, AMAT/APPLIED MATERIALS 8130에는 다양한 프로세스 압력을 허용하고 반응물 가스를 효과적으로 제거 할 수있는 고급 진공 제어 장비가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 필요한 공정 압력을 유지하는 디지털 압력 컨트롤러 (Digital Pressure Controller) 와 빠르고, 안정적이며, 안정적인 진공을 제공하는 터보 분자 펌프 (Turbo-molecular Pump) 로 구성되어 반응물 가스의 전달이 향상되고 공정 제어가 향상됩니다. 원자로 로봇 인터페이스에 의해 제어되는 통합 모션 유닛 (integrated motion unit) 은 기판의 로드/언로드를 자동화하고 4 개의 반응 챔버 사이에서 빠르고 쉬운 전송을 허용합니다. 또한 통합 모션 머신은 유지 관리를 단순화하고 다운타임을 줄입니다. 이 도구를 사용하면 기판 위치 지정 및 프로세스 온도를 정확하게 제어할 수 있으므로 프로세스 균일성 (process unifority) 이 향상됩니다. AMAT 8130은 향상된 증착 공정 균일성과 성능을 제공하도록 설계된 고급, 고성능, 비용 효율적인 화학 증기 증착 원자로입니다. 모듈식 공구 불가지론 (tool-agnostic) 설계를 통해 APPLIED MATERIALS 8130은 3D NAND 및 기타 고급 집적 회로의 생산에 사용되는 다양한 회로 형성 프로세스에 사용될 수 있습니다. 통합 모션 자산은 디지털 압력 컨트롤러 (Digital Pressure Controller) 및 터보 분자 펌프 (Turbo-molecular Pump) 와 함께 원자로 개선 된 공정 제어 및 더 높은 수준의 정확도를 제공합니다. ± 2 ° C의 대기에서 최대 630 ° C를 구울 수있는 기능으로, 8130은 고정밀 증착 공정에 적합합니다.