판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 7811 #9095878

AMAT/APPLIED MATERIALS 7811은 반도체 제조를 위해 다양한 고온 열 처리 작업을 수행하도록 설계된 멀티 챔버, 고온 진공로입니다. 이 기기에는 여러 가열 요소가 장착되어 최대 1400 ° C의 온도를 생산하며, 컴퓨터 제어에 의해 ± 2.5 ° C 범위에서 정확하게 조절 할 수 있습니다. 이 고급 공구 (advanced tool) 는 기판 전송 및 로드 작업 중에 웨이퍼에 대한 액세스를 제공하기 위해 이동 가능한 도어로 연결된 보조 하부 챔버 (공정 공구) 가있는 주 반응 챔버 (main reaction chamber) 로 구성됩니다. 반응 "챔버 '는 질소 의 일정한 대기 아래 유지 되는 반면, 공정 공구 는 전형적 으로" 아르곤' 으로 가득 차 있다. 용광로에는 공정 챔버 (process chamber) 에 다양한 전구체 가스 혼합물을 제공 할 수있는 가스 분사 장비가 제공된다. 증착, 산화, 어닐링 및 노칭과 같은 프로세스를 활성화합니다. AMAT 7811에는 반응 챔버 안팎에 여러 요소가있는 고급 가열 시스템 (advanced heating system) 이 포함되어 있습니다. 이 장치는 독립적 인 주 구역 (principal zone) 과 조절 가능한 전/후 히터 (post-heater) 를 갖추고 있으며 총 3 개의 가열 구역을 제공합니다. 이를 통해 정확한 온도 관리, 웨이퍼 및 프로세스의 고르게 가열이 가능합니다. 이 도구에는 또한 쿼츠 뷰 포트 (quartz viewport) 가 장착되어 있으며, 이 뷰포트는 가열 챔버 (heating chamber) 에 대한 시각적 액세스를 허용하여 웨이퍼 진행 상황을 직접 볼 수 있습니다. 이 기기는 운영자와 장비의 안전을 보장하기 위해 여러 개의 경보 (alarm) 와 안전 장치 (safety device) 를 갖추고 있습니다. 이러 한 안전 장치 중 에는 고온 에 우발적 으로 노출 되는 것 을 방지 하기 위한 뚜껑덮개 와 후면판 이 있다. "깨어라!" APPLIED MATERIALS 7811에는 2 개의 독립적 인 진공 펌프가 포함되어 있어 대규모 및 소규모 처리 작업이 가능합니다. 7811 은 고온 열 처리 (thermal processing) 작업을위한 고도의 고급 도구이며, 대부분의 반도체 제작 프로세스의 핵심 부분입니다. 인챔버 (in-chamber) 및 조절 가능한 난방 요소, 잘 설계된 가스 분사기, 여러 경보 및 안전 장치, 그리고 쿼츠 뷰 포트 (quartz viewport) 도구를 통해 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공하여 모든 반도체 제작 프로세스에 적합합니다.