판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 #9258176

AMAT/APPLIED MATERIALS 7810은 박막 재료의 증착에 사용되는 증착 원자로 유형입니다. 원자로 챔버에는 깨끗하고 저온 처리를 위해 아르곤으로 채워진 플라즈마 소스가 장착되어 있습니다. 원자로에는 다른 유형의 증착 시스템에서 생성 한 것보다 더 높은 품질의 코팅을 생성하는 ECR (electron cyclotron resonance) 소스가 장착되어 있습니다. 원자로 (Reactor) 는 최신 기술과 최첨단 디자인 기능으로 매우 효율적입니다. 챔버는 최대 200mm 직경의 여러 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있습니다. AMAT 7810은 가스 흐름, 총 압력, 원하는 목표 온도, 기판 온도, 소스 전력, 바이어스 전력 및 가열 전력을 포함한 광범위한 증착 매개변수를 제공합니다. 이것은 전자, 에너지, 광학, RF/무선 및 생의학 분야의 다양한 응용 분야에 대한 박막 재료 생산에 중요합니다. 대규모 챔버 (chamber) 및 고온 기능을 통해 단일 런으로 대규모 예금을 허용합니다. 이 장비에는 또한 개인용 컴퓨터 기반 운영자 인터페이스 (operator interface) 가 포함되어 있어 설치 및 작동이 용이합니다. 시스템에 전체 재료 라이브러리 (materials library) 소프트웨어가 포함되어 있으며, 사용자가 현재 프로세스에 가장 적합한 배치 매개변수를 선택할 수 있습니다. 이 라이브러리에는 금속, 자기, 반도체, 유전체 및 도자기를 포함한 모든 유형의 재료에 대한 데이터가 포함됩니다. APPLIED MATERIALS 7810에는 건식 (dry-to-dry) 운송 장치가 있으며, 배치 처리 작업뿐만 아니라 최대 17 개의 웨이퍼를 로드 및 언로드할 수있는 통합 로드 잠금 및 펌핑 스테이션이 있습니다. 이 기계에는 프로세스 제어 및 가스 흐름을 단순화하는 자동 샘플러가 장착되어 있습니다. 7810은 생산 및 연구의 요구 사항을 모두 충족하도록 설계되었습니다. 구성 요소의 고가용성 (HA), 작동 편이성, 예금의 정밀도 및 정확성, 생산 공구의 신뢰성 등이 그 장점입니다. $ AMAT/APPLIED MATERIALS 7810은 시장에서 최고의 박막 증착 시스템 중 하나로 간주됩니다.