판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 #293827237

AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 Reactor는 대형 실리콘 기판에 고품질의 박막을 배치하도록 설계된 고성능 증착 장비입니다. 플라스마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 을 사용하여 제조가 실리콘, 석영 또는 금속 표면에 SiO2, SiCN 및 기타 유전체 층을 증착 할 수 있습니다. AMAT 7810은 거의 원자 수준의 정밀도로 10nm 선 너비를 달성 할 수 있습니다. 이 시스템은 많은 양의 재료를 높은 속도로 예치하거나, 전체 균일성을 가진 매우 얇은 층을 예치하기에 충분한 유연성 (flexible) 을 가지고 있습니다. APPLIED MATERIALS 7810 Reactor는 통합 처리 챔버로 구성되며 3 개의 독립적으로 구성 가능한 소스 모듈이있는 120 입방 센티미터 공정 챔버를 포함합니다. 소스 모듈은 증착을 유도 및 제어하기 위해 반응물 가스의 플라즈마를 제공합니다. 이 증착 장치는 또한 스퍼터 에치, 개발 및 anneal에 사용될 수 있습니다. 챔버 (chamber) 는 각각 독립적 인 제어 매개변수 세트가있는 두 개의 별개의 도량형 구획으로 나뉩니다. 7810은 또한 통합 된 온라인 질량 분광기를 가지고 있으므로 반응물 가스 조성을 더 정확하게 제어 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 Reactor는 방사성 방열판을 사용하여 열에너지를 효율적으로 소산하고, RF 편향판이있는 평행판 정전기 척을 사용하여 평면 화 된 기판을 유지합니다. 기계는 스테인레스 스틸 프레임 워크로 둘러싸여 있으며, 부드럽고 일관된 진공 작동을 보장합니다. AMAT 7810 원자로 (Reactor) 는 높은 전력 밀도를 가지므로, 높은 온도와 짧은 주기 시간에서 큰 기질의 증착 및 에칭을 가능하게한다. APPLIED MATERIALS 7810 Reactor (APPLIED MATERIALS 7810 Reactor) 는 최적화된 프로세스 컨트롤러로 향상된 성능을 제공하므로 여러 레시피와 프로세스 시퀀스를 신속하게 설정할 수 있습니다. 이 도구는 미크론 (micron) 수준의 정밀도로 프로세스 매개변수를 제어할 수 있으며, 연산자 (operator) 의 개입을 최소화하면서 매우 높은 처리량을 얻을 수 있습니다. 전반적으로, 7810 원자로는 반도체 장치 제조를 위해 매우 강력하고, 다재다능하며, 유지 보수가 적고 비용 효율적인 증착 도구입니다. 또한 평면 패널 디스플레이, 메모리 장치, 광전자 (optoelectronic) 부품 등 다양한 어플리케이션에 적합합니다.