판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 RP #69375

AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 RP Reactor는 기판의 다양한 재료의 박막을 퇴적시키는 데 사용되는 고급 화학 증기 증착 (CVD) 장비입니다. 원자로는 금속, 카바이드, 플루오라이드, 질화물, 산화물, 복합 반도체 화합물과 같은 물질의 넓은 레퍼토리로 높은 정밀도, 생산 품질 박막 제작을 촉진하도록 설계되었습니다. AMAT 7810 RP Reactor의 주요 기능은 작동 용이성과 유지 보수입니다. 사용자에게 친숙한 인터페이스와 레시피 단계, 압력 제어, 온도 조절, 대량 흐름 제어 (mass flow control) 등의 프로세스를 단순화하는 여러 가지 자동 기능이 함께 제공됩니다. 또한이 시스템에는 기질 오염을 최소화하는 현장 가스 청소 장치가 있습니다. APPLIED MATERIALS 7810 RP Reactor는 유연한 공정 챔버 설계로 인해 뛰어난 다용성을 제공합니다. 그것 은 "나노 '재료 와 기판 크기 를 포함 하여" 인치' 에서 "마이크로 미터 '까지 광범위 한 재료 를 수용 할 수 있다. 또한, 모듈 식 설계는 개별 공정 주기 동안 원자로 업그레이드를 가능하게하여, 지속적인 프로세스 개선, 빠른 프로토 타입 (prototyping) 에 적합하다. 원자로에는 2 개의 개별 반응 챔버 (단일 챔버 공정 머신과 이중 챔버 공정 도구) 가 있습니다. 단일 챔버 공정 에셋 (single chamber process asset) 은 단층 증착을 위해 설계되었으며, 이중 챔버 공정 모델은 다중 계층 구조의 증착을 위해 설계되었습니다. 두 구성 모두, 원자로에는 큰 하중 잠금 챔버, 저압 하중 잠금 챔버 및 진공 챔버가 있습니다. 원자로는 또한 실온에서 1000 ° C 이상으로 정밀 열 제어를 제공합니다. 7810 RP Reactor는 정밀하고 자동화된 프로세스 제어를 위해 고급 PLC 컨트롤러뿐만 아니라 고감도 온도, 압력, 유량 미터를 갖추고 있습니다. 이 장비는 또한 전체 데이터 로깅 및 보고 기능을 갖춘 엔두라 (Endura) 모니터링 소프트웨어 (monitoring software) 를 통해 사용자가 진행 중인 프로세스를 면밀히 모니터링 할 수 있습니다. 또한, 원자로의 모듈식 설계는 열 추출 (heat extraction) 및 열 복구 (heat recovery) 옵션을 제공하여 프로세스 최적화 및 비용 절감 효과를 제공합니다. 결론적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 RP Reactor는 신뢰할 수 있고, 사용자에게 친숙한 박막 증착 시스템으로, 광범위한 재료와 기판 구성을 제공합니다. 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 과 자동화 프로세스 (Automated process) 는 운영자의 개입을 줄여주는 반면, 광범위한 모니터링 기능을 통해 진행 중인 프로세스를 면밀히 추적할 수 있습니다. 모듈식 설계 (modular design) 와 열 회수 (heat recovery) 옵션으로 인해 유연성을 제공하므로 고정밀 박막 제작에 적합합니다.