판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 7800 #9095974

ID: 9095974
Epitaxial (EPI) reactor.
AMAT/APPLIED MATERIALS 7800은 다양한 박막 프로세스에 사용되는 다목적 증착 장비입니다. 이 제품은 대규모의 필름 (film) 성장 요구사항을 지원하도록 설계된 다양한 기능으로 제작되었습니다. AMAT 7800은 반응성-이온 혈관 증착 도구입니다. 고품질 필름, 구조물, 기능 에칭을 배치하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS 7800은 디스크 드라이브, 그래픽 디스플레이, IC 패키징, 디스플레이 및 태양 광 응용프로그램과 같은 여러 산업에 서비스를 제공합니다. 7800에는 DC 마그네트론 스퍼터링 소스가 포함되어 있으며, 박막 증착을위한 고출력 단일 주파수 스퍼터링 방전을 생성 할 수 있습니다. 이 "가스 '는 산화물 과 기타 높은 유전체 를 포함 하여 여러 가지" 필름' 들 을 생산 하는 데 도움 이 되기 위하여 "가스 '를" 챔버' 에 도입 할 수 있는 광범위 한 공정 "가스 '를 가지고 있다. Applied Material AMAT/APPLIED MATERIALS 7800은 저압 플라즈마 소스와 쿼드라 암 쿼츠 안테나 시스템 (Quadra-arm Quartz Antenna System) 을 갖추고 있으며, 챔버 전체에 걸쳐 가속화되어 기판 또는 필름 두께와 기능 에칭을 균일화합니다. 또한 자기 미디어 응용 프로그램을위한 높은 상자성 레이어를 생성 할 수있는 고전압 '펄스 RIE (Pulse RIE)' 소스가 장착되어 있습니다. 증착 장치에는 2 개의 암으로 장착 된 정전기 웨이퍼 척 (electrostatic wafer chuck) 이 장착되어 있으며 웨이퍼 전체에 균일 한 범위가 가능합니다. 이 도구는 균일 한 증착 외에도 에지 베벨링, 산화물 딥 코트 (oxide dip coat) 처리, 패턴 에칭 및 기타 고유 한 기능을 지원하여 뛰어난 프로세스 균일성을 제공합니다. AMAT 7800은 소프트웨어 및 프로그래밍 기능을 통해 탁월한 프로세스 제어 및 반복 기능을 제공합니다. 기계는 기판 및 대상 재료에 걸쳐 최대 40 개의 공정 매개변수를 제어하여 최대 필름 증착, 증착 균일성 (deposition unifority) 및 공정 성능을 제어할 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS 7800 (APPLIED MATERIALS 7800) 은 시장에서 사용할 수 있는 가장 안정적이고 효과적인 프로세스 제어를 제공하며, 다양한 박막 성장 응용 프로그램에 사용하도록 설계되었습니다. 고품질 필름과 구조물을 반복 정밀하고 신뢰할 수 있는 성능으로 배치하려는 사람들에게 좋은 선택이다. & # 160; & # 160; & # 160; & # 160;
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