판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 7700 #9269447

AMAT/APPLIED MATERIALS 7700 원자로는 고급 반도체 응용을위한 박막 증착을위한 고정밀, 다중실 도구입니다. 여러 프로세스 기술과 여러 스퍼터링 기판을 지원합니다. 이 장비는 정확하고 효율적이며 반복 가능한 처리를 제공합니다. 응용에는 PVD (물리적 증기 증착), CVD (화학 증착), LPCVD (저압 화학 증착), MOCVD (금속 유기 화학 증착) 및 원자층 증착 (ALD) 이 포함됩니다. 고급 프로세스 모듈 (advanced process module) 을 활용하여 성능 향상 및 추가 프로세스 기능에 액세스할 수 있습니다. 카메라 기반 도량형 및 터널링 현미경 모듈은 고급 나노 스케일 증착 과정의 무결성을 보장합니다. 또한 시스템 내부에 여러 개의 스퍼터링 대상을 사용할 수 있으며, 최대 4 개의 Co-Sputter 프로세스를 지원할 수 있습니다. AMAT 7700 원자로는 소형 웨이퍼에서 대형 기판까지 다양한 기판 크기와 모양을 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 여러 기판 로드 및 언로드 방법을 지원합니다. 핵심 기능을 갖춘 애드온 글로브 박스는 뛰어난 프로세스 반복성과 안전성을 보장합니다. 시스템의 AMAT PVD (Process Management) 패키지와의 호환성은 저비용 프로세스 개발 및 생산에 대한 높은 수준의 제어 기능을 제공합니다. 강력한 소프트웨어 컨트롤과 통합하여 온보드 스케줄링, 작업 추적, 프로세스 기록, 보고, 원격 진단 지원 등을 지원합니다. 이 툴은 전반적인 운영 및 유지 보수 부담이 적도록 설계되었습니다. 기존 프로세스와 잘 알려진 프로세스 모듈 (process module) 기술에 대한 보상이 내장되어 있어 반복 가능한 고성능을 보장합니다. 이 원자로에는 빠른 응답과 빠른 안정화를 위해 펄스 너비 변조 전원 공급 장치가 있습니다. 또한 정확한 온도 조절을 제공합니다. 광범위한 편광 (polarization) 및 에칭 (etching) 작업을 통해 여러 레이어와 프로세스 단계를 구성할 수 있습니다. 이 자산은 프로세스 모니터링을 위해 수많은 물리 및 화학 센서를 지원합니다. APPLIED MATERIALS 7700 원자로는 MEMS 장치 제작, 광전자 및 광전자 재료 증착, MEMS 디스플레이, 센서 및 초소형화와 같은 고급 반도체 및 나노 기술 응용 분야에 이상적인 도구입니다. 업계 전반에 걸쳐 광범위한 씬 필름 (Thin-film) 제작 요구를 충족할 수 있는 안정적인 솔루션입니다.