판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 7700 #9095979

AMAT/APPLIED MATERIALS 7700은 반도체 플라즈마 공정을 위해 설계된 원자로입니다. AMAT 7700은 AMAT 특허 HiCap Power 및 Multimode 소스를 사용하여 웨이퍼 기판 전체에서 최고 수준의 균일성 및 플라즈마 에치 속도를 제공합니다. APPLIED MATERIALS 7700 의 독보적인 크로스오버 (crossover) 기능을 통해 두 전원 간의 무중단 전환이 가능하므로 프로세스 사이클이 원활하고 프로세스 안정성이 뛰어납니다. 7700은 에칭, 산화물 증착, 질화물 증착 및 응축과 같은 공정을 처리 할 수 있습니다. 광범위한 챔버 (chamber) 크기와 재료는 다양한 응용 분야에 적합합니다. 소스 챔버 (Source Chamber) 는 또한 고충실 플라즈마 처리를 위해 향상된 균일 성 제어 및 저K 증착을위한 가장 효율적이고 효과적인 플라즈마 에칭 프로세스를 갖추고 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 7700에는 안정적이고 안정적인 플라즈마 생성 및 제어를 보장하는 고출력 RF 증폭기가 장착되어 있습니다. 또한 고급 플라즈마 모니터링 시스템 (Advanced Plasma Monitoring Systems) 을 사용하여 플라즈마 밀도와 에치 레이트 (etch rate) 사이의 정확한 균형을 유지하여 우수한 프로세스 제어를 제공합니다. AMAT 7700 의 뛰어난 성능은 고급 진단 및 진단 분석 기능으로 보완됩니다. 현장 진단 분석 (in situ diagnostics analysis) 을 통해 사용자는 플라즈마 종, 이온 에너지 분포 및 정밀도로 처리 시간을 추적 할 수 있습니다. 또한, 고급 광학 방출 분광학 진단 (Advanced Optical Emission Spectroscopy Diagnostics) 은 플라스마에 불순물이 있음을 빠르게 분석하여 프로세스 최적화를 가속화 할 수있다. APPLIED MATERIALS 7700 의 내구성 및 안전 기능도 안전하고 효율적인 처리 환경을 보장합니다. 고급 안전/실패/퀸치 (failure/quench) 기능은 높은 온도 사이클링 및 잠재적 아크로부터 챔버를 보호하며, 시스템을 예기치 않은 손상으로부터 보호하는 비상 셧다운 시스템입니다. 전체적으로, 7700 원자로는 반도체 플라즈마 처리를 위해 강력하고 안정적인 도구입니다. 첨단 광학 방출 분광학 진단 기능과 함께 제공되는 강력한 소스와 RF 증폭기 (RF amplifier) 는 업계에서 가장 높은 수준의 에치 속도, 균일성 및 정확성을 제공합니다. 또한, 고유 한 크로스 오버 기능 및 공정 안전 (process safety) 기능을 통해 모든 에치, 증착 또는 응축 프로세스에 이상적입니다.