판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 7700 #9069031

AMAT/APPLIED MATERIALS 7700 원자로는 다양한 연구 및 제조 응용 분야를 위해 설계된 고급 화학 증기 증착 (CVD) 장비입니다. 독특한 가스-흐름-스루 쿼츠 반응 챔버로, AMAT 7700 원자로는 최대 150mm 크기의 기판과 최대 1200 ° C의 온도에서 초박막 증착을 효율적으로 가능하게합니다. 이 기기는 증착 중에 뛰어난 균일성 (unifority) 과 최소 드리프트 (drift) 를 제공하며, 최고 효율성을 위해 데스크톱 제어 자동화가 가능합니다. APPLIED MATERIALS 7700 원자로는 폐쇄 루프 (closed-loop), 난류 (non-turbulence) 챔버로 설계되어 필름 성장을 월등히 제어할 수 있습니다. 반응 챔버 (reaction chamber) 는 석영으로 만들어졌으며, 이는 비활성 상태이며 반응물과 생성물의 아웃게싱 및 응축을 최소화하는 데 도움이됩니다. 이 시스템에는 외부 압력 제어, 가스 혼합 및 통합 진공 장치가 장착되어 있습니다. 진공 기계는 반응 챔버에서 낮은 이온 함량으로 난기가없는 작동을 보장합니다. 통합 가스 혼합 도구 (integrated gas blending tool) 는 반응 비율을 정확하게 제어하여 필름 화학량 론과 높은 증착 처리량을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 7700 원자로는 데스크탑 사용자 인터페이스를 통해 완전히 자동화되고 제어됩니다. 제어 자산은 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스와 안정성이 뛰어난 PLC (Programmable Logic Controller) 를 갖추고 있습니다. 이 기기에는 여러 가지 안전 기능 (예: 오작동 시 자동 종료, 반응 실 내부의 상승 압력) 이 포함됩니다. 이 모델은 또한 피드백 센서를 완벽하게 보완하여 온도, 압력, 챔버 흐름을 정확하게 제어합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 7700 원자로는 박막 증착에 이상적인 장치로, 뛰어난 균일성과 높은 처리량을 제공합니다. 정확성과 반복성은 모든 유형의 연구/제조 응용 프로그램에 적합합니다. 폐쇄 루프 챔버 (closed-loop chamber) 와 자동 제어 장비를 갖춘 AMAT 7700 원자로는 연구 또는 생산 프로세스를 한 단계 높일 수 있는 완벽한 도구입니다.