판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 7600 #293827238

AMAT / APPLIED MATERIALS 7600
ID: 293827238
Epitaxy reactor.
AMAT/APPLIED MATERIALS 7600은 집적 회로 및 기타 반도체 장치의 제작에 사용되는 반도체 제작 도구입니다. AMAT 7600은 "클러스터 유형" 원자로입니다. 즉, 사전 청소, 기판 수송 및 사후 청소를 포함한 다양한 공정 장치가 단일 폐쇄 노출 챔버에 함께 구성됩니다. APPLIED MATERIALS 7600에는 기판 적재 용 창문이있는 원통형 원자로 석영 챔버 (quartz chamber) 가 있습니다. 약실 에는 고온 "핫플레이트 '와" 가스 인젝터' 가 장착되어 특정한 온도에서 기판을 유지한다. 진공 펌프는 가공 전에 챔버를 대피시키고 부산물을 청소하는 데 사용됩니다. 일관된 열 공정 결과를 보장하기 위해 약실에서 압력이 조절됩니다. 7600 원자로에는 단일 원자로 모드와 다중 원자로 모드의 두 가지 작동 모드가 있습니다. 단일 원자로 (single reactor) 모드에서, 하나의 기판 배치가 동시에 단일 원자로 내에서 처리된다. 이것은 간단한 장치 구조를 제작하는 데 이상적입니다. 다중 원자로 모드에서는 단일 클러스터 구성에서 최대 8 개의 독립 원자로 (independent reactor) 를 사용할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 7600에는 작동 및 제어를 위한 컴퓨터 제어 인터페이스가 있습니다. 이 소프트웨어는 데이터 입력, 프로세스 모니터링 및 품질 관리 기능을 제공합니다. 이 소프트웨어를 사용하면 다른 처리 장비와의 자동 일괄 처리 (batch-by-batch) 통합, 특정 반도체 장치 유형 및 프로세스 요구 사항에 대한 프로그래밍 가능한 사용자정의가 가능합니다. AMAT 7600 의 유연성, 안정성, 자동화를 통해 광범위한 반도체 프로세스 요구를 충족할 수 있는 이상적인 플랫폼이 되었습니다. 클러스터 유형의 원자로 구성은 높은 처리량, 정확성 및 반복 성을 가능하게합니다. 이 시스템은 신뢰성이 높으며, 자동화를 통해 안정적인 프로세스 조건과 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 컴퓨터 인터페이스는 효율적인 작업 추적 및 데이터 관리를 제공합니다. 따라서 APPLIED MATERIALS 7600 (응용 자료 7600) 은 반도체 장치 제조에 널리 사용되고 다양한 처리 단계를 하나의 장치에 통합하는 효율적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 유연성과 정확성을 통해 고품질의 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.
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