판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 60KO #9226836

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 60KO는 반도체 및 마이크로 전자 기술을위한 고급 재료 및 코팅 생산을 위해 설계된 전문 진공 증착/반응성 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 고품질, 고수율, 반복 가능한 결과를 생성하기 위해 증착 반응을 정확하게 제어하기 위해 제작되었습니다. AKT 60KO는 고성능 PVD (물리적 증착) 증착 장치입니다. 이 기계는 가스 유량을 정확하게 제어하기 위해 조정 가능한 질량 흐름 제어기 (mass flow controller) 가있는 스퍼터 증착원으로 구성됩니다. 청정 가스 공급을 보장하기 위해 재순환 가스 여과 도구도 제공됩니다. 이 자산은 또한 조절 가능한 고진공 난류 억제 모델 (HVF) 을 특징으로하며, 이는 고품질 표적 재료 증착 및 저가상 불순물을 달성하기위한 중요한 요소입니다. AMAT 60KO는 금속, 세라믹, 다이아몬드 같은 탄소를 포함한 광범위한 물질의 증착을 위해 설계되었습니다. 그것 은 또한 반응 을 내는 "스퍼터링 '에 사용 될 수 있으며, 이 로 말미암아 기판 에 널리 증착 될 수 있다. 증착율 을 정확 하게 제어 하기 위하여 조정 가능 한 "소오스 '동력 장치 가 마련 되어 있다. 이 시스템에는 선택적 반응성 가스 소스 (reactive gas source) 도 포함되어 있으며, 스퍼터링 과정에서 깨끗한 증착실을 유지하는 데 사용됩니다. 증착실 자체는 높은 수준의 챔버 청결을 유지하도록 설계되었습니다. 내부는 스테인리스 스틸로 만들어졌으며 내구성 세라믹 타일이 늘어서 있습니다. 조절 가능한 가스 주입 장치 (gas injection unit) 를 사용하면 반응성 또는 비 반응성 가스의 흐름을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 챔버 (chamber) 에는 증착 필름의 품질을 향상시키기 위해 인시 투 (in-situ) 기판 냉각기 (옵션) 가 장착 될 수 있습니다. 또한 60KO에는 고급 소프트웨어 인터페이스 (advanced software interface) 가 포함되어 있어 사용자가 특정 요구에 맞게 배치 프로세스를 조정할 수 있습니다. 또한 증착을위한 맞춤형 레시피를 프로그래밍할 수도 있습니다. 이 도구에는 증착 프로세스를 쉽게 모니터링할 수 있는 자동 종단점 탐지 기능도 있습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS 60KO는 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 기술을위한 고급 재료 및 코팅 생산을 위해 설계된 고급 고성능 PVD/스퍼터링 자산입니다. 다양한 기능을 통해 증착 공정 (deposition process), 조절 가능한 고진공 난류 억제 모델, 고급 사용자 인터페이스 (advanced user interface) 를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 장비는 매우 낮은 가스상 불순물로 고품질의 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다.