판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 401493LCM1 #9384031
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AMAT/APPLIED MATERIALS 401493LCM1은 정지형 금속 챔버로, 가스, 액체 및/또는 고체 상의 특정 종 농도를 증가시키도록 설계되었습니다. 그것은 외부 강철 원통형 주택, 4 개의 스테인리스 스틸 반응 튜브 및 세라믹 튜브로 구성되며, 모두 산소가없는 핫 존 대기 내에 포함되어 있습니다. 약 7 피트 높이의 챔버는 2 개의 온도 및 압력 제어 핫 존, 프로세스 가스 모니터링을위한 TCD (Thermal Conductivity Detector) 및 프로세스 흐름 제어를위한 MFC (Mass Flow Controller) 에 연결됩니다. "스테인레스 '강철 로 만든 반응" 튜브' 는 원통형 주거지 내 에 매달려 있으며 불활성 "세라믹 '이 늘어져 있다. 세라믹 라인 튜브는 오염을 줄이고 핫 존 온도의 원치 않는 변동을 교정합니다. "세라믹 '관 벽 에 내장 된 난방기 는 균질 한 진공 및 챔버 온도 를 유지 하는 역할 을 한다. AMAT 401493LCM1 (AMAT 401493LCM1) 은 챔버와 가열된 영역 사이의 인터페이스를 사용하여 공정 가스를 주사합니다. 공정 "가스 '는 약실 전체 에 균등 하게 분포 되어, 균질 한 성장 을 위한 종 의 균등 한 농도 를 보장 한다. 가열된 영역은 각각 최대 700C의 온도를 달성하며 TCD에 의해 조작됩니다. MFC는 개별 입구 컨트롤러를 통해 공정 가스를 조절하며, 공정 가스의 압력은 10 내지 15 psi 범위 내에서 일정하게 유지된다. 응용 물질 401493LCM1 (APPLIED MATERIALS 401493LCM1) 은 부식 및 산화 저항성 물질로 구성되어 있으며, 광범위한 연속 증착 공정에 유리하고 신뢰할 수있는 원자로입니다. 304 형 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 은 반응 튜브 내부에 연결되어 효율적으로 유지되는 보호 분위기를 제공합니다. 그리고 챔버는 원하는 제품 출력을 보장하기 위해 최대 15 PSIG의 압력 등급으로 설계되었습니다. 전체적으로 401493LCM1은 3 인치 직경의 고효율 원자로, 원자로 성능을 향상시키고 제품 품질을 향상시키기 위해 설계되었습니다. 하드 마스크, 씬 필름, 멀티 레이어 다이 (multi-layer dies), 메탈리제이션 (Metallization) 및 기타 다양한 관련 기술을 배치하는 데 이상적인 옵션입니다. 이 원자로는 유지보수하기 쉽고, 가동 중지 시간을 줄이고, 보다 반응적이고, 생산적이며, 비용 효율적인 제조 공정을 제공합니다.
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