판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9398722

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500은 높은 순도 화학 가공 솔루션을 제공하기 위해 설계된 고급 단일 웨이퍼 원자로입니다. 고급 단일 웨이퍼 플랫폼을 갖춘 AKT 3500은 실리콘, 니켈, 티타늄, 알루미늄 및 다양한 합금과 같은 다양한 기판 및 재료를 처리 할 수 있습니다. AMAT AKT-3500 원자로는 습하고 건조한 공정을 위해 설계되었으며, 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 챔버 또는 고주파 유도 결합 플라즈마 (HFP) 소스로 구성 될 수있다. AMAT 3500은 최고 품질의 결과 (최고 수준의 제어 및 안전) 를 제공하도록 설계되었으며, 각 챔버 사이클 (chamber cycle) 의 최고 품질의 제품을 보장합니다. 이 제품은 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 더 높은 수준의 프로세스 제어를 제공하는 현장 (in-situ) 기반 제어 및 피드백 루프 (feedback loop) 를 비롯한 고급 통합 시스템 아키텍처를 갖추고 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500에는 가스, 온도, 습도, 압력 등 여러 센서와 샘플을 통합 할 수있는 다양한 사내 고급 분석 도구가 포함되어 있습니다. 이러한 도구를 사용하면 프로세스 제어가 향상되고, 각 프로세스를 기판 재료에 맞게 사용자정의할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS AKT-3500 원자로에는 최대 기판 보호를 제공하는 통합 로드 락 (load-lock) 시스템과 기판 교환 및 로딩이 가능한 간단한 이동식 암이 장착되어 있습니다. 건조 가공 및 습식 가공 작업을 모두 위해 팔을 쉽게 구성 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 3500은 반도체, 나노 (nanofabrication), 연구 개발 (Research and Development) 에 이르기까지 다양한 업종에서 사용할 수 있도록 설계되었습니다. AKT AKT-3500의 광범위한 프로세스 기능을 통해 칩 및 MEMS (Flat Panel Display) 제조에서 평면 패널 디스플레이 제조에 이르기까지 다양한 제작 요구를 충족할 수 있습니다. 전체적으로, 3500은 고급 기술 프로세싱의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 다용도, 고정밀 원자로입니다. 첨단 설계 (Advanced Design) 와 견고한 건축을 통해 다양한 기판 재료와 복잡한 공정을 처리할 수 있으며, 최대한의 안전성을 지닌 인상적인 결과를 얻을 수 있습니다.