판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380645

ID: 9380645
PECVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500은 혁신적인 기술과 정교한 엔지니어링을 결합하여 뛰어난 품질의 제품을 제공하는 고급 열 처리 장비입니다. 이 시스템은 반도체, 소액화 부품 (microfabrication component), 박막 (thin film) 및 기타 첨단 기술과 같은 고품질 재료를 생산하도록 설계되었습니다. AKT 3500은 확장된 이더넷 (Ethernet) 접속성을 활용하는 고급 제어 기술 패키지와 통합형 하드웨어 (통합 하드웨어) 구성 요소 제품군으로 구성되어 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 매개변수 (예: 온도, 압력, 가스 흐름) 를 완전히 제어할 수 있습니다. AMAT AKT-3500 원자로는 3.5 인치, 6 인치 및 9 인치 원자로 포트와 함께 사용할 수 있으며, 특정 응용 프로그램에 가장 적합한 옵션을 선택할 수 있습니다. 원자로에는 여러 개의 내부 가스 원 (gas source) 이 장착되어 있으며, 정확하게 정의 된 가스 조성을 장치에 전달하고, 파일럿 가스를 챔버로 주입 (injection) 할 수 있습니다. 가스 흐름은 쉽게 조절 가능한 고정밀 질량 흐름 컨트롤러로 제어됩니다. AMAT 3500의 열 시간 상수 감소 (reduced thermal time constant) 는 고효율 방사열 절연 기계의 적용을 통해 달성됩니다. 이 도구는 빠른 온도 조정을 보장하며, 웨이퍼 (wafer) 및 기타 처리 재료의 열 로딩을 줄입니다. APPLIED MATERIALS 3500은 microfabrication 구성 요소 및 박막 재료에서 silicon, gallium Nitride 및 sapphire 기판에 이르기까지 다양한 공정 부하를 수용 할 수 있습니다. 원자로의 넓은 온도 범위 (temperature range of operation) 는 다양한 상황에서 매우 정확한 온도 제어를 가능하게하며, 더 큰 공정 반복 성과 더 높은 수율을 제공합니다. APPLIED MATERIALS AKT-3500은 이중 잠금 기능, 상세한 안전 연동 자산, 내장 자동 차단 기능 등 다양한 안전 기능을 자랑합니다. 이 모델은 안전 (Safety) 을 염두에 두고 설계되었으며, 다양한 안전 표준을 준수하는 고급 제어 장비 (Advanced Control Equipment) 가 장착되어 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500은 코어에서 안전과 혁신을 갖춘 고급, 정교한 열 처리 시스템입니다. 최첨단 어플리케이션을 위한 고품질 재료를 생산하는 한편, 탁월한 안전성과 안정성을 제공합니다. 이 장치는 유연성 (Flexibility) 을 고려하여 설계되었으며, 다양한 어플리케이션과 산업에 적합합니다.
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