판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380523

ID: 9380523
PECVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500 원자로는 패턴 화 및 무대식 반도체 웨이퍼 처리를 위해 설계된 저압 화학 증기 증착 (CVD) 장비입니다. 이 "시스템 '은 전기 및 물리적 특성 을 향상 시키기 위하여" 웨이퍼' 표면 에 여러 가지 도펀트 '와 유전체 를 증착 시킬 수 있다. 이 장치에는 프로세스 가스 농도의 빠르고 통제 된 변화를 허용하는 QIC (Quartz Insertable Component) 가 장착 된 핫 월 CVD 챔버가 있습니다. 이를 통해 다양한 응용 프로그램에 적합한 다양한 레이어 증착이 가능합니다. AKT 3500 원자로는 또한 균일하고 반복 가능한 증착 프레스를 제공하는 낮은 난류 환경을 특징으로합니다. 이것은 고주파 및 RF 장치, 저온 유전체 처리에 이상적입니다. 이 기계는 온도 범위 50-800C, 압력 범위 0.1-10 torr 및 다중 공정 가스 밸브 및 대량 흐름 컨트롤러가있는 가스 처리 도구를 갖추고 있습니다. 에셋은 400mm 웨이퍼 (wafer) 및 8 인치 웨이퍼 (wafer) 구성으로 작동 가능하며 고급 온도 제어 패키지를 장착할 수 있습니다. AMAT AKT-3500 원자로는 다양한 반도체 제조 응용 분야에서 사용하기 쉽고 신뢰할 수있는 모델입니다. 이 장비는 또한 조정 가능한 초점과 개방형 챔버 (Open Chamber) 설계로 교차 오염을 줄이고 입자 생성을 방지합니다. 이 시스템에는 빠르고 안정적인 Open-Loop Stepper/Scanner도 장착되어 있어 처리량이 높습니다. 이 장치는 간단한 웨이퍼 제어 옵션을 제공하여 여러 웨이퍼 레시피를 동시에 실행할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500 원자로는 반도체 웨이퍼에 도펀트, 유전체 및 기타 재료를 증착하기위한 이상적인 도구입니다. 고급 기능과 견고한 디자인으로 반도체 프로세싱에 이상적인 선택입니다. 이 기계는 안정적이고, 반복적이며, 사용하기 쉽기 때문에 다양한 반도체 애플리케이션에 적합합니다.
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