판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380519

ID: 9380519
PECVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500은 반도체 제작 작업에 사용하도록 설계된 원자로입니다. "와퍼 '와 기타 기판 에" 패턴' 을 조성 하여 비용 과 효율성 을 최대화 할 수 있다. AKT 3500은 이전 모델인 AKT 3000 (KT 3000) 의 업그레이드 버전이며, 예전보다 균일하고 정밀하게 얇은 필름을 기판에 입금하고 실리콘, 유리, 금속 합금과 같은 재료에 이러한 필름을 입금 할 수있는 특허를받은 프로세스를 특징으로합니다. 원자로에는 10-6 토르 (torr) 의 낮은 진공 수준과 최대 10-9 토르 (torr) 의 초고 진공 수준이 가능한 내장 챔버가 내장되어 있어 정확하고 정밀한 플라즈마 처리가 가능합니다. 원자로에 추가 할 수있는 다양한 옵션 액세서리 (예: 로드 잠금 시스템, 고온 영역 오븐) 도 있습니다. AMAT AKT-3500은 또한 고급 프로그래밍 가능한 제어 시스템 (Advanced Programmable Control Systems) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 원자로 (Reactor) 를 특정 매개변수로 프로그래밍할 수 있으며, 필요에 따라 이러한 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한 증착 과정 (deposition process) 을 실시간으로 모니터링하여 결과가 정확하고 일관성을 보장합니다. 3500의 프로세스 특성은 매우 놀랍습니다. 이 원자로는 선폭 (10nm) 이 낮은 패턴을 생산하고 최대 25 nm 해상도를 처리 할 수 있습니다. 또한 정확도가 높은 3D 모양을 만들 수 있습니다. 또한, 원자로의 높은 처리량과 낮은 처리 시간으로 인해 매우 비용 효율적입니다. 전반적으로 AKT AKT-3500은 다른 기판에 고급 패턴 및 필름을 만드는 훌륭한 원자로입니다. 고품질 프로세스, 프로그래밍 가능한 제어 시스템 (Programmable Control System) 및 낮은 처리 시간을 통해 반도체 제조 부문에 이상적인 툴이 됩니다.
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