판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380515

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500은 반도체 구조의 생산을 위해 설계된 고급 저온 PECVD (플라즈마 강화 화학 증발) 원자로입니다. 이 원자로는 기존의 증착 시스템 (예: 처리량 향상, 증착 균일성 향상) 에 비해 상당한 이점을 제공합니다. AKT 3500은 2 개의 독립적 인 캐스케이딩 된 RF 소스를 사용하여 독립적 인 발전기 제어를 가진 고주파 (HF) 및 튜닝 가능한 RF 전원을 생성하는 독특한 2 단계 RF 발전기 시스템을 통합합니다. 이를 통해 사용자는 가스 위상 온도 (gas phase temperature) 와 대상 재료의 증착 속도 (deposition rate) 를 정확하게 제어하여 증착 과정을 구성하고 세밀하게 조정할 수 있습니다. AMAT AKT-3500은 증착 과정을 용이하게하기 위해 다양한 축 및 방사형 가스 인젝터에 단일 벽 반응 챔버를 통합합니다. 주입 영역 (injection zone) 의 반지름을 조정할 수 있으므로 사용자가 증착의 균일성과 처리량을 최적화할 수 있습니다. 또한, 반응 챔버 (reaction chamber) 는 피킹 필드 영역을 통합하여 반응물의 균일 한 분포와 표적 물질의 효율적인 균일 증착을 보장한다. AKT-3500은 RF 생성기 및 반응 챔버 외에도 전원 공급 장치, 컨트롤, 진단 시스템의 복잡한 조합을 갖추고 있습니다. 이러한 시스템을 통해 사용자는 원자로 환경을 모니터링하고 조정하여 성능을 최적화하는 한편, 재료 처리량 (material throughput) 과 균일성 (unifority) 을 극대화할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500은 TMF (토크 모니터링 피드백) 시스템 및 저온 플라즈마 가드를 포함한 고급 안전 기능도 제공합니다. 이 가드 (guard) 는 챔버 내부의 위험 및 과열 영역을 방지하면서 챔버 온도를 최적의 수준으로 유지하는 데 도움이됩니다. 전반적으로 AMAT 3500은 많은 상업용 반도체 생산 공정의 요구를 충족시킬 수있는 매우 효율적이고 직관적인 PECVD 원자로입니다. 고급 2 단계 RF 발전기, 정확하게 구성 가능한 주입 구역 및 통합 안전 시스템은 처리량을 최적화하면서 재료의 정확한 증착을 보장합니다. APPLIED MATERIALS AKT-3500은 안정적이고 다용도 PECVD 솔루션을 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.