판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380511

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500은 기판 및 도펀트의 반응을 통해 나노 스케일 장치를 제작하는 데 사용할 수있는 고성능 장비입니다. 이 최첨단 원자로는 탁월한 프로세스 안정성, 효율성 및 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 프로세스 제어 시스템 (Advanced Process Control System) 을 사용하여 챔버 매개변수의 정확한 제어, 프로세스 실행 중 챔버 조건의 현장 모니터링을 허용합니다. AKT 3500은 고급 진공 챔버를 갖추고 있으며, 낮은 프로세스에서 높은 프로세스 압력 (10-4 ~ 10-2 torr) 을 달성 할 수 있습니다. 이 챔버에는 기울기 (tilt) 및 회전 (rotate) 기능이 모두 장착되어 있어 장치를 여러 각도로 마운트할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 프로세스를 보다 효과적으로 제어할 수 있으며, 공구 기울기 (tilt) 와 회전 (rotation) 을 제어하여 보다 균일한 나노 구조를 생성할 수 있습니다. 원자로는 또한 다양한 온도 (-120 ° C까지) 와 웨이퍼 크기 (4 "최대 8") 에 걸쳐 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 내장 가스 혼합 매니 폴드로 AMAT AKT-3500은 고밀도 (1 포인트 교정) 에서 가스를 혼합하여 공정을 더 잘 제어 할 수 있습니다. AKT AKT-3500은 고급 냉각 장치로 구성되어 장치에서 작동 냉각 용량을 -30 ° C ~ 200 ° C까지 제공합니다. 이 냉각기는 안정적인 온도를 유지하여 우수한 속성과 성능으로 나노 구조 (nanostructure) 의 개발을 향상시킵니다. 이 장치는 또한 균일성 성능 향상 (uniformity performance) 을 자랑합니다. 즉, 더 높은 효율로 더 균일 한 나노 구조를 생성 할 수 있습니다. 3500에는 프로세스 안정성 (process stability) 을 보장하기 위해 프로세스의 매개변수를 모니터링하는 인터록 (interlock) 도구와 같은 안전 (safety) 기능도 포함되어 있습니다. 이 장치에는 "자가 점검 기능 (self-check function) '을 탑재해 소형장비 오작동을 파악하여 주요 프로세스 중단 가능성을 줄일 수 있다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS AKT-3500은 우수한 속성과 성능을 가진 나노 구조를 생성 할 수있는 고급 자산입니다. 이 모델은 강력한 온도 조절, 프로세스 균일성 향상, 종합적인 모니터링, 다양한 안전 기능을 제공하여 나노 스케일 (nano-scale) 장치 생산에 귀중한 도구입니다.