판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380507

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500 Reactor는 광범위한 기판에서 레이어 및 코팅의 안정적이고, 효율적이며, 정밀한 증착에 사용되는 고성능 자기 제한 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 플라즈마 원자로입니다. 원자로 (reactor) 는 다양한 챔버 형상에서 균일 한 플라즈마 에칭을 달성 할 수 있으며, 패라메트릭 유연성을 통해 최적의 프로세스 최적화가 가능합니다. AKT 3500 Reactor가 제공하는 내부 플라즈마 특성 (in-situ plasma characterization) 기능은 프로세스 최적화 및 면적에 대한 일관된 균일 증착을위한 강력한 피드백 제어 기능을 제공합니다. AMAT AKT-3500 Reactor는 다이아몬드와 같은 탄소 (DLC) 코팅, 유전체 층, 다층 스택 및 넓은 밴드 갑 산화물 층을 포함한 광범위한 증착 응용에 사용될 수있는 고밀도, 고효율 플라스마를 생성 할 수 있습니다. 원자로에는 발열의 신뢰성과 균일성을 보장하기 위해 히터 파워 (heater power), 가스 흐름 (gas flow) 및 증착율 (deposition rate) 과 같은 모든 공정 매개변수를 제어하고 모니터링 할 수있는 plc 구동 C-V 로봇 피더가 있습니다. 고밀도 플라즈마 (plasma) 와 균일 한 강착 속도는 전자 가열 장비와 결합 된 이중 자기장 시스템 (magnetic field system) 을 사용하여 활성화됩니다. APPLIED MATERIALS 3500 Reactor의 이중 자기장 시스템은 안정된 작업 환경을 유지하기 위해 헬륨 폐쇄 루프 냉각 시스템 (helium closed-loop cooling system) 에 의해 냉각 된 챔버 내에 있습니다. 자기장은 ECR 영역을 형성하는 2 개의 나선형 상처 평면 인덕터에 의해 생성된다. 이 ECR 존 (zone) 은 고밀도, 에너지 플라즈마의 효율적인 생산에 매우 기여하는 전자 온도 조건에서 넓은 동적 범위를 허용합니다. 3500 원자로의 전자 가열 단위는 ECR 구역에 연결된 전자 레인지 웨이브 가이드 기계입니다. "마이크로 '파 는 RF 하부시스템 을 통하여 생성 되며, 고효율" 플라즈마' 생산 을 위하여 최대 의 "에너지 '밀도 를 허용 하는" 챔버' 내부 에 전략적 으로 위치 해 있다. 나머지 처리 시스템 (예: 가스 피드 도구) 은 증착 과정 기간 동안 중단되지 않고 일관성 있게 처리 할 수 있도록 설계되었습니다. AKT-3500 원자로 (Reactor) 는 안정적이고, 효율적이며, 정확한 증착 자산으로, 다양한 고품질 레이어 및 코팅을 생산할 수 있습니다. 원자로는 강력한 피드백 제어 및 일관되게 안정적인 증착 환경을 위해 클로즈드 루프 냉각 모델 (closed-loop cooling model) 을위한 현장 플라즈마 특성을 가지고 있습니다. 패라메트릭 유연성과 고급 프로세스 제어 솔루션을 통해 AKT AKT-3500 Reactor는 모든 증착 응용 프로그램에 대해 최고 수준의 프로세스 최적화 및 균일 한 증착을 제공합니다.