판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380505

ID: 9380505
PECVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500은 수평, 가스 상, 배치 생산 공정 원자로입니다. 열분해, CVD, 산화, 질소 생성 및 기타 작업과 같은 다양한 열 과정을 수행하도록 설계되었습니다. 원자로 는, 고온 과 양호 한 공정 조절 이 필요 한, 여러 가지 응용 에 적합 하다. 최대 3,500 와트의 공정 전력을 ± 3% 의 정확도로 제공 할 수 있습니다. AKT 3500은 온도 조절 향상을 위해 스테인리스 스틸 챔버 (stainless steel chamber) 로 제작되었으며, 열 처리 중 관측을 위해 가열 된 창을 특징으로합니다. 원자로는 온도를 빠르게 조정할 수있는 폐쇄 루프 (closed-loop) 제어 장비로 작동하여 정밀한 공정 제어를 가능하게한다. 또한 정확한 가열을위한 일치하는 전원 공급 장치도 포함되어 있습니다. AMAT AKT-3500에는 정확한 가스 흐름 제어 및 제거를위한 가스 제어 모듈 (gas control module) 이 장착되어 있으며, 강제 대류 (forced convection) 또는 천연 대류로로 작동 할 수있는 통합 용광로가 포함되어 있습니다. 이 시스템에는 3 구역 인터 록 (interlock) 안전 장치, 안전 경고 장치가 장착 된 퍼니스, 경고 벨이 장착 된 배기 잠금 장치 등 다양한 안전 기능이 있습니다. APPLIED MATERIALS 3500에는 발열을위한 수냉장치도 포함되어 있습니다. 이 도구는 사용자 친화적이며, 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스와 모든 프로세스 매개변수와 피드백을 표시하는 7 인치 (7 인치) 컬러 화면이 있습니다. 문제 해결을 위한 자체 테스트 프로그램이 내장되어 있으며, 소프트웨어 업그레이드를 지원합니다. 원자로는 유연하며 오버플로 (overflow), 임계값 (threshold), 다단계 (multi-step) 등 다양한 공정 유형에 사용할 수 있습니다. 또한 다른 챔버 컴포넌트 (chamber component) 의 통합을 지원하여 제품별 요구를 용이하게 합니다. AKT-3500은 열 처리 어플리케이션을 위한 사용하기 쉽고 안정적인 솔루션입니다.
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