판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380504

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500은 반도체 산업에서 다양한 프로세스를 수행하도록 설계된 원자로입니다. 다량의 에칭 (etching) 및 증착 (deposition) 작업을 수행할 수 있는 고온 및 압력 기능이 장착되어 있습니다. 원자로는 안전성 (Safety Shown Down) 기능을 갖추고 있기 때문에 안정적이고, 다재다능하며, 안전합니다. 코어에서 AKT 3500은 열 절연, 가스 타이트 열분해-흑연 챔버 (pyrolytic-graphite chamber) 를 특징으로하며, 이는 사용 중 우수한 열 전도성 및 저항/재생 특성을 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 챔버에는 우수한 온도 균질성에 기여하는 복합 필름이 늘어서 있습니다. 원자로는 첨단 저항성 난방 장비 (Advanced Resistive Heating Equipment) 를 사용하여 가열되며, 임베디드 온도 센서 시스템 (Embedded Temperature Sensor System) 은 열전달 속도를 조절하고 정확하고 일관된 온도를 유지하기 위해 작동합니다. AMAT AKT-3500에는 안정적이고 반복 가능한 결과를 보장하는 통합 자동 프로세스 제어 장치 (automated process control unit) 도 있습니다. 이 기계는 원자로의 온도 및 압력 설정을 모니터링하고 공정 (process) 의 정확도를 유지하기 위해 적절히 조정하도록 설계되었습니다. 또한, 이 도구는 광범위한 프로세스 및 재료에 대해 프로그래밍 될 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500에는 프로세스 매개 변수를 기록하고 결과를 문서화하는 자동화된 프로세스 모니터링 자산도 포함되어 있습니다. 이 모델은 또한 프로세스 모니터링 및 분석 기능에 대한 액세스를 제공합니다. 또한, 원자로는 여러 프로세스 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 옵션 (예: 사용자 지정 구성) 을 통합하도록 설계되었습니다. 이러한 구성의 예로는 eelectron cyclotron 공명 마이크로 파 플라즈마 (ECR), 정전기, 스퍼터링 및 이온 이식 등이 있습니다. 이런 식으로, AKT-3500은 다양한 반도체 생산 응용 프로그램의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤 될 수 있습니다. 마지막으로, APPLIED MATERIALS 3500에는 다양한 에치 및 증착 프로세스 (etch and deposition process) 동안 최고 수준의 수율을 제공하기 위해 RF 측정 장비와 함께 고속 RF 전원 공급 장치가 장착 될 수 있습니다. 요약하면, AMAT/AKT AKT-3500은 반도체 산업에서 여러 프로세스를 수행하도록 설계된 고급, 신뢰성, 다용도 원자로입니다. 온도에 대한 내구성이 뛰어난 챔버 (chamber) 와 자동화된 프로세스 제어 시스템 (process control system) 및 프로세스 모니터링 장치 (process monitoring unit) 가 특징입니다. 또한, 다양한 작동에 맞게 맞춤 구성할 수 있으며, 가능한 한 높은 수율을 위해 고속 RF 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다.