판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9379475
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ID: 9379475
빈티지: 2008
PECVD System
G-SiO
(4) Heat chambers
(4) ADVANCED ENGERY RF-50SWC RF Generators
Heat exchanger
Scrubber
(4) DC Power supplies
Pump:
ALCATEL ADP 122L
EBARA A200W.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500은 고급 실리콘 기반 화학 증발 (CVD) 원자로입니다. 고급 조명, 광학, 반도체, 광전자 부품의 높은 처리량을 제조할 수 있도록 설계된 AKT 3500은 고유한 고급 증착 도구입니다. 유리 (glass), 금속 (metal), 반도체 (semiconductor) 재료 등 다양한 물질에서 단단하고 내구성이 뛰어난 물질을 증착하기 위해 매우 반복 가능하고 안정적이며 효율적인 프로세스를 제공합니다. AMAT AKT-3500은 AKT 독점 ALT (Advanced Low Temperature) 프로세스를 최대한 활용하도록 설계되었습니다. 이 과정 은 여러 단계 의 가열 기판 을 사용 하며, 낮은 온도 에서 "실리콘 '을 증착 시켜, 증착 과정 을 보다 포괄적 으로 제어 할 수 있게 해 준다. APPLIED MATERIALS 3500은 라이트 가이드 플레이트 (Light Guide Plate) 및 광학 부품 (Optical Component) 과 같은 응용 분야에 필요한 금속 및 질화물 층의 매우 얇은 증착을 달성 할 수 있습니다. AKT AKT-3500은 새로운 대기 압력 증착 장비를 기반으로합니다. 이 시스템은 다중 증착원, 정밀 제어 가스 흐름, 높은 처리량 필름 성장을 위해 독특한 정전기 필터 장치 (electrostatic filter unit) 를 사용하는 독특한 설계를 기반으로 한 가스 흐름 증착 시스템입니다. 이를 통해 기존 CVD 시스템에 비해 배치 된 레이어의 균일성이 뛰어납니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500 기계에는 새로 개발 된 순차 셔터 제어 도구도 있습니다. 이를 통해 증착 프로세스의 여러 개별 단계를 더 많은 정확도 (accuracy) 와 제어 (control) 로 소집 할 수 있습니다. 이것은 온보드 난방/냉각 에셋과 결합하여 섬세한 조정 프로세스 매개변수를 위한 최적의 복원력 (resilience) 및 처리량 (throughput) 을 제공합니다. APPLIED MATERIALS AKT-3500은 다양한 증착 구성을 가능하게하는 다용도 원자로입니다. LED, 조명 가이드, 광학 부품 등과 같은 광전자 응용 프로그램에 이상적입니다. KT-3500 원자로는 다양한 재료를 증설하고, 증착을 조절할 수 있는 기능을 통해 우수한 결과를 얻을 수 있다. & # 160;
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