판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9104981
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판매
ID: 9104981
빈티지: 1997
PECVD system
Single substrate processing
Substrate size: 550 x 670 mm
LTPS: p-Si film layer stack SiN, SiO, a-Si
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500은 트랜지스터, 다이오드 및 집적 회로를 포함한 제품의 웨이퍼와 같은 반도체 재료를 처리하도록 설계된 고급형 원자로입니다. 원자로는 이러한 재료의 처리를 단순화하는 독특한, 사용하기 쉬운 제어 장비를 갖추고 있습니다. 원자로 작동은 배우기 쉽고, 사용하기 쉽고, 부드럽고, 효율적인 워크플로를 가능하게 합니다. AKT 3500 원자로의 주요 구성 요소에는 반응 챔버, 진공 챔버, 공정 제어 시스템 및 전원 공급 장치가 포함됩니다. 반응 챔버 (reaction chamber) 는 반도체 물질과 함께 화학 물질 및 기타 물질을 처리하도록 설계되었습니다. 프로세스 제어 장치를 사용하면 처리 매개변수 (예: 가스 흐름 속도, 온도) 를 설정할 수 있습니다. 이렇게 하면 재료가 정확하고 효율적으로 처리됩니다. 또한, 전원 공급 장치는 프로세스에 필요한 전기 에너지를 제공합니다. AMAT AKT-3500에 사용되는 기술은 고품질 결과를 내기 위한 최적의 환경을 제공합니다. 이 약실은 내열성 물질로 구성되어 있으며, 화학반응의 속도가 낮은 통제 환경을 제공합니다. 또한, 진공 환경은 더 큰 열 전달을 가능하게하여 처리 속도가 빠릅니다. 이것은 반복성을 보장하고 원자로를 안정적이고 정확하게 만듭니다. 또한 APPLIED MATERIALS 3500은 기본 제공되는 안전 기능을 제공하여 운영자를 안전하게 보호합니다. 원자로 는, 위험 한 상태 를 감지 하고 예방 하기 위해, 종합 안전기 와 함께 한다. 또한, 가스의 흐름을 빠르게 차단하는 비상 가스 격리 도구 (emergency gas isolation tool) 가 있습니다. 이를 통해 위험한 가스가 구축되지 않고, 운영자와 다른 직원에게 위험을 초래할 수 있습니다. AKT-3500은 반도체 재료 처리에 이상적인 선택입니다. 화학적 반응 속도 가 낮고, 처리 속도 가 빠른 환경 (environment) 을 제공 하는 한편, 배우고 사용 하기 쉽다. 또한, 원자로에는 종합적인 안전 자산 (Safety Asset) 과 긴급 가스 격리 (Emergency Gas Isolation) 가 제공되어 운영자가 안전하게 보호됩니다. 이 모든 기능은 3500 개의 원자로를 반도체 재료 처리를 위해 안정적이고 효과적인 선택으로 만듭니다.
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